產(chǎn)品應(yīng)用
真空 鍍膜 太陽能 半導(dǎo)體 石油石化
煤炭冶金 制氣配氣 環(huán)保 各種分析儀器
技術(shù)參數(shù)
技術(shù)指標(biāo): Amass質(zhì)量流量控制器Amass質(zhì)量流量計(jì)
量程范圍: 10SCCM-200SLM
測控范圍: 控制器閥控范圍50:1 流量計(jì)量程比100:1
準(zhǔn) 確 度: 流量:±1%F.S
重復(fù)精度: ±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間: ≤2S
模 擬 量: 0~5V
供 電: ±15V
工作溫度: 0~50℃
工作壓力: 工作壓差:0.03~0.5MPa 工作壓降:<0.01Mpa
耐壓: 6MPa
電氣連接: DB15孔
漏 率: 1×10-9SCCSHe
溫度系數(shù): ±0.015%F.S/℃
底座材質(zhì): 鋁合金或316L不銹鋼
密封材料: 氟橡膠,氯丁橡膠,丁晴橡膠
接 頭: VCR1/4;swagelokφ6 以及客戶