產(chǎn)品應(yīng)用
真空 鍍膜 太陽能 半導(dǎo)體 石油石化
煤炭冶金 制氣配氣 環(huán)保 各種分析儀器
技術(shù)參數(shù)
技術(shù)指標: Dmass質(zhì)量流量控制器Dmass質(zhì)量流量計
量程范圍: 10SCCM-200SLM
測控范圍: 控制器閥控范圍50:1 流量計量程比100:1
準 確 度: 流量:±1%讀數(shù)±0.2%滿量程
重復(fù)精度: ±0.2%F.S
響應(yīng)時間: ≤1S
數(shù) 字 量: RS232/485,MODBUS協(xié)議
模 擬 量: 0~5V、4~20mA
供 電: 24V/±15V可選
工作溫度: 0~50℃
工作壓力: 工作壓差:0.03~0.5MPa 工作壓降:<0.01Mpa
耐壓: 3MPa
電氣連接: DB15孔
漏 率: 1×10-9SCCSHe
溫度系數(shù): ±0.015%F.S/℃
底座材質(zhì): 鋁合金或316L不銹鋼
密封材料: 氟橡膠,氯丁橡膠,丁晴橡膠
接 頭: VCR1/4;swagelokφ6