漢鐘PS系列干式螺桿真空泵主要特點(diǎn):
漢鐘螺桿真空泵排氣路徑短,減少反應(yīng)物沉積
hanbell干式螺桿真空泵相較于其他形式的真空泵,因氣體于泵內(nèi)的傳輸路徑最短,最不易產(chǎn)生反應(yīng)物沉積的現(xiàn)象。
漢鐘螺桿真空泵線形密封性佳,泵浦性能
Hanbell干式螺桿真空泵,轉(zhuǎn)子密封線形,轉(zhuǎn)子密封性佳,轉(zhuǎn)子能以較大的嚙合間隙達(dá)到更快的抽氣效果,由于漢鐘真空泵的嚙合間隙較大,泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死,轉(zhuǎn)子也較不易因磨耗而需更換。
漢鐘螺桿真空泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,故障率低,維護(hù)容易
Hanbell干式螺桿真空泵因只需要利用一對(duì)轉(zhuǎn)子相互嚙合達(dá)到密封效果,結(jié)構(gòu)上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設(shè)計(jì),降低轉(zhuǎn)子與隔板沉積卡死的風(fēng)險(xiǎn)。且因其結(jié)構(gòu)單純,拆卸維修也比較容易,因此能縮短維修時(shí)程,降低維修費(fèi)用。
漢鐘螺桿真空泵微電腦操作,遠(yuǎn)端監(jiān)控,保護(hù)周全
Hanbell干式螺桿泵微電腦控制器提供真空最簡(jiǎn)易的操作方式并能顯示真空泵完整的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài),方便使用者對(duì)泵應(yīng)用狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整,在真空泵產(chǎn)生問(wèn)題前進(jìn)行預(yù)防保養(yǎng)。遠(yuǎn)端監(jiān)控系統(tǒng)能夠提供使用者方便的監(jiān)控工具,使用者不需到現(xiàn)場(chǎng)就能夠了解真空泵的運(yùn)行狀態(tài)。
漢鐘螺桿真空泵典型應(yīng)用:
面板TFT-LCD, Touch Panel
太陽(yáng)能Solar
冶金系統(tǒng)Metallurgical System
鍍膜Coating
電漿制程Plasma processes
干燥處理Drying Process
制程氣體抽取Degassing
生技/制藥Biotech/Pharmaceutical
化工產(chǎn)業(yè)Chemical Industry
鋰電池Battery
機(jī)型Model | 單位Unit | PS602 | PS902 | PS1302 | PS1802 | |
抽氣速度 Pumping Speed (50Hz/60Hz) | l/min | 8300/10000 | 12500/15000 | 17500/21000 | 25000/33300 | |
m3/hr | 500/600 | 750/900 | 1050/1260 | 1500/1800 | ||
Cfm | 294/353 | 441/530 | 618/742 | 883/1060 | ||
壓力 Ultimate Pressure | Torr | ≤7.5*10-4 | ||||
mbar | ≤1*10-3 | |||||
Pa | ≤0.1 | |||||
馬達(dá) Motor | 頻率Frequency | Hz | 50/60 | |||
電壓Voltage | V | 220-440 | ||||
額定功率 Rated Power | Hp | 4+4 | 6+4 | 6+6 | 6+6 | |
Kw | 2.98+2.98 | 4.47+2.98 | 4.47+4.47 | 4.47+4.47 | ||
連接 Connection | 進(jìn)氣口Inlet |
| ISO100 | ISO160 | ||
排氣口Outlet |
| NW40 | ||||
冷卻水 Cooling Water | 流量Min. Flow | l/min | 3-7 | |||
溫度temperature | ℃ | 15-30 | ||||
壓力Pressure | Mpa | 0.2-0.4 | ||||
接頭Connection |
| RC 3/8" | ||||
氮?dú)?/span> N2 | 壓力Purge Pressure | MPa | 0.15-0.2 | |||
流量Purge Flow | Slm | 0-60 | ||||
接頭Connection |
| Swagelok 1/4" | ||||
尺寸Dim. | 長(zhǎng)×寬×高L×W×H | mm | 814*380*865 | 895*380*915 | 920*430*957 | 920*430*1030 |
重量Weight | Kg | 450 | 520 | 540 | 545 | |
噪音Noise | dB(A) | ≤70 | ≤70 | ≤70 | ≤70 | |
系統(tǒng)漏率 System Max. Leak-rate | mbar.l/s | 1*10-5 | ||||
室溫操作范圍Operation Temp. | ℃ | 5-40 | ||||
操作濕度Operation Moisture | RH | 90%以上 |