主要參數(shù)

外形尺寸

424（L）×345（D）×420（H）

輸入電源

220V/800W

可用靶材

所有金屬、部分化合物

靶材尺寸

φ57mm

真空室

高硅硼玻璃 φ200×130mm

工作介質(zhì)

高純氬氣（≥4N）

低真空泵

旋片泵

抽速

1.1L/s

高真空泵

進口渦輪分子泵

抽速

90L/s

極限真空

≤5×10-3Pa

工作真空

0.1-3Pa

濺射電流

5-200mA 可調(diào)

濺射時間

1-999s 可調(diào)

樣品臺

φ125mm

樣品臺轉(zhuǎn)速

4-20rpm 可調(diào)

顯示屏

7 英寸  TFT 彩色觸摸屏

抽氣節(jié)拍

≤5 分鐘

進氣

全自動

放氣

全自動

預濺射

具備預濺射擋板，全自動控制

保護功能

過流保護、真空保護、分子泵過熱保護等

膜厚儀

（選配）

可實時顯示鍍膜厚度，并通過設定來控制鍍膜過程，測量精度

0.1nm，單次鍍膜設定范圍 1-999nm，測量范圍 10μm

其它

可根據(jù)用戶需要，提供定制化產(chǎn)品