產(chǎn)品描述
HRP-260是一款高分辨率cassette-to-cassette探針式輪廓儀。HRP的性能經(jīng)過生產(chǎn)驗證，能夠進行自動化晶圓裝卸、可為半導體、化合物半導體、高亮度LED、數(shù)據(jù)存儲和相關(guān)行業(yè)提供服務。P-260配置支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的二維及三維測量，其掃描深度可達200mm而無需圖像拼接。 HRP-260配置的功能與P-260相同，并增加了能夠?qū)π√卣鬟M行高分辨率和高產(chǎn)量測量的高分辨率平臺。
HRP-260的雙平臺功能可以進行納米和微米表面形貌的測量。 P-260配置提供長掃描（最長200mm）的功能，無需圖像拼接，HRP-260提供高分辨率掃描平臺，掃描長度可達90μm。 P-260結(jié)合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描的功能，實現(xiàn)了出色的測量穩(wěn)定性。 HRP-260采用高分辨率壓電掃描平臺提高性能。 通過采用點擊式平臺控制、低倍和高倍率光學系統(tǒng)以及高分辨率數(shù)碼相機，其程序設置快速簡便。 HRP-260支持二維和三維測量，具有各種濾鏡、調(diào)平和數(shù)據(jù)分析算法，以量化表面形貌。 并且通過自動晶圓裝卸、圖案識別、排序和特征檢測以實現(xiàn)全自動測量。
主要功能
- 1.臺階高：納米至327μm
- 2.恒力控制的低觸力：0.03至50mg
- 3.樣品全直徑掃描，無需圖像拼接
- 4.視頻：在線低倍和高倍放大光學系統(tǒng)
- 5.圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
- 6.軟件：簡單易用的軟件界面
- 7.生產(chǎn)能力：通過測序、圖案識別和SECS / GEM實現(xiàn)全自動化
- 8.晶圓機械傳送臂：自動加載75mm至200mm不透明（例如硅）和透明（例如藍寶石）樣品
- 9.HRP：高分辨率掃描平臺，分辨率類似于AFM
主要應用
- 1.臺階高度：2D和3D臺階高度
- 2.紋理：2D和3D粗糙度和波紋度
- 3.外形：2D和3D翹曲和形狀
- 4.應力：2D和3D薄膜應力
- 5.缺陷復檢：2D和3D缺陷表面形貌
工業(yè)應用
- 1.半導體
- 2.復合半導體
- 3.LED：發(fā)光二極管
- 4.MEMS：微機電系統(tǒng)
- 5.數(shù)據(jù)存儲
- 6.汽車
- 7.還有更多：請與我們聯(lián)系以滿足您的要求
