產(chǎn)品簡介:光譜橢偏儀SE-Vi是一款集成式原位光譜橢偏儀,針對有機/無機鍍膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā),快速實現(xiàn)光學薄膜原位表征分析。光譜橢偏儀廣泛應用于金屬薄膜、有機薄膜、無機薄膜的物理/化學氣相沉積,ALD沉積等光學薄膜工藝過程中實際原位在線監(jiān)測并實時反饋測量物性數(shù)據(jù)。
產(chǎn)品型號 | SE-i 光譜橢偏儀 |
技術參數(shù) | 1、自動化程度:固定變角 2、應用定位:原位定制型 3、基本功能:Psi/Delta、N/C/S等光譜 4、分析光譜:380-1000nm,支持按需定制化 5、單次測量時間:0.5-5s 6、重復性測量精度:0.01nm 7、入射角范圍:65°(支持定制) |