高精密硅片研磨機(jī)產(chǎn)品說(shuō)明: |
圓柱硅片拋光機(jī)主要用途:該機(jī)主要適用用各種大尺寸硅片及晶體材料的拋光。 圓柱硅片拋光機(jī)工作原理:本系列硅片拋光機(jī)由四個(gè)吸附盤(pán)吸附硅片與拋光盤(pán)做逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)來(lái)達(dá)到拋光的目的。 圓柱硅片拋光機(jī),硅片拋光機(jī)特點(diǎn): 1.本系列拋光機(jī)的吸附盤(pán)由四臺(tái)單獨(dú)的電機(jī)驅(qū)動(dòng)、速度與壓力可調(diào)。 2.控制系統(tǒng)中采用PLC彩色終端等*技術(shù),系統(tǒng)的響應(yīng)速度更快、更精確,并具有遠(yuǎn)程監(jiān)控,遠(yuǎn)程維護(hù)的功能; 3.本系列拋光機(jī)運(yùn)行平穩(wěn),拋光后的產(chǎn)品厚度公差可控制在正負(fù)0.002mm范圍內(nèi),粗糙度可達(dá)到0.0005mm。 圓柱硅片拋光機(jī)設(shè)備規(guī)格:
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