原子力顯微鏡 用于半導(dǎo)體行業(yè)的測(cè)量
X,Y測(cè)量范圍: 20umX20um; 40umX40um; 80umX80um
Z測(cè)量范圍: 2um 4um 6um
X,Y分辨率: 0.1nm
Z分辨率: 0.01nm
原子力顯微鏡 (AFM)通過(guò)一個(gè)微小尺寸
懸臂上的精密尖頭對(duì)樣品進(jìn)行表面掃描
尖頭和樣品表面原子間的相互作用力會(huì)使
懸臂位置發(fā)生輕微偏離,接著被壓阻
元件探測(cè)到該變化,從而被測(cè)量,基于
這個(gè)影響, AFM 可以高分辨率地測(cè)量
表面形貌及粗糙度,屬于無(wú)損測(cè)量
AFM 可以使用不同的操作模式,因此可
以用來(lái)研究更多的性能, 比如樣品的靜電
力、磁力或者彈力。
特色:
測(cè)量性能
高分辨率表面形貌測(cè)量
尖頭自動(dòng)靠近被測(cè)樣品表面
樣品表面取樣通過(guò)壓阻感應(yīng)元件
接觸測(cè)量模式、非接觸測(cè)量模式
靜電力和磁力特性的測(cè)量
measurement of electrical and magnetic properties,
側(cè)力及彈力測(cè)量 lateral forces and elasticity*1
液態(tài)測(cè)量measurement in liquids*2
更多操作模式可選
*1 contact mode in basic version, additional modes upon request
*2 optional
Atomic Force Microscopy
Surface Characterization表面特性
Very High Resolutions分辨率
典型應(yīng)用:
微型工業(yè)技術(shù)的質(zhì)量保證
納米亞納米級(jí)粗糙度測(cè)量
硅片及光學(xué)器件表面測(cè)量 range
生物標(biāo)本表面特征
納米結(jié)構(gòu)測(cè)量
醫(yī)學(xué)樣品表面特征研究medical samples,
e.g. protheses, catheters or stents
應(yīng)用于材料科學(xué)中檢測(cè)橡皮圈, 磁性工件等
AFM measuring head 測(cè)量頭
control unit 控制器件;傳感器安裝在電動(dòng)臺(tái)
sensor mount with motor-driven z-stage
software, operating manual 測(cè)量軟件操作手冊(cè)