真空閥門是在真空管道系統(tǒng)中,用來改變氣流方向,調(diào)節(jié)氣流量大小,切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件或真空閥門設(shè)備。真空閥門既可用現(xiàn)場(chǎng)手控和遙控,也可用電動(dòng)、電磁傳動(dòng)(電磁閥)、氣動(dòng)和液動(dòng)控制。
真空閥門具有下列特點(diǎn):
壓力低于大氣壓,而閥瓣上的壓降不能超過1公斤力/厘米2。介質(zhì)的工作溫度取決于使用裝置的工藝過程。溫度一般不超過-70 ~ +150℃的范圍。 對(duì)這類閥門最基本的要求是保證連接的高度密封性和結(jié)構(gòu)與墊片材料的致密性。
按介質(zhì)壓力真空閥門可分成四組:
1)低真空閥門:介質(zhì)壓力p=760~1毫米汞柱;
2)中真空閥門:p=1×10-3 毫米汞柱。
3)高真空閥門:p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱;
4)超高真空閥門:p≤1×10-8 毫米汞柱。
真空波紋管截止閥作為通徑小于250毫米,被廣泛采用的的閥桿作直線運(yùn)動(dòng)的閉路閥門。真空閘閥卻受到較大的限制,但這主要是對(duì)于大口徑真空閘閥來說的??捎玫倪€有真空球閥和高真空蝶閥。真空閥門關(guān)閉件是用像膠密封圈或金屬密封圈來密封的。波紋管真空截止閥的波紋管是用不銹鋼、黃銅、塑料和其他材料制成。小通徑真空截止閥關(guān)閉件可采用膜片密封。低真空和中真空可以采用高真空球閥。