日本optiworks 4D技術(shù)表面輪廓儀NanoCam Sq
特征
地表觀測系統(tǒng)基于有的超高速干涉儀“動態(tài)干涉儀”
4D技術(shù)自主研發(fā)的“動態(tài)干涉儀”，可實現(xiàn)100微秒標準的超高速干涉測量。即使在無法避免振動的地方也可以進行測量。
輕巧緊湊
機身尺寸約為 24 x 24 x 8 厘米，重量約為 4.6 千克。便攜性強，可攜帶在被測物體附近進行接近測量。多種可選
鏡頭 長工作距離干涉儀用物鏡 ×2.5、×5、×10、×20、×50（開發(fā)中）
內(nèi)置LED光源（460nm）
綜合分析軟件“4Sight™”
“動態(tài)干涉測量法”
傳統(tǒng)的移相干涉儀使用壓電元件等移動參考平面，獲取干涉條紋的圖像，并計算相位分布。單次測量至少需要100毫秒，在此期間干涉儀與測量樣品之間會發(fā)生相對振動和空氣波動，導(dǎo)致干涉條紋發(fā)生波動，導(dǎo)致測量誤差增加。為了防止這種情況，需要光學(xué)面板、防振裝置、擋風(fēng)玻璃等。
4D Technology的動態(tài)干涉儀是一種劃時代的系統(tǒng)，以其“動態(tài)干涉測量”解決了此類問題。
在“動態(tài)干涉”中，無需機械移動參考平面，一次圖像數(shù)據(jù)采集即可獲得四幀相移干涉圖。由于對相機的每個像素進行相移，因此可以穩(wěn)定地收集數(shù)據(jù)，并且由于一次測量的時間可以縮短到 30 微秒，因此可以在干涉圖像因振動等而發(fā)生變化之前的瞬間進行測量.完成。
這使得可以在振動不可避免的環(huán)境中進行測量，測量遠處的樣品和移動物體，以及測量在室內(nèi)進行環(huán)境試驗的樣品。
日本optiworks 4D技術(shù)表面輪廓儀NanoCam Sq
“4Sight™”數(shù)據(jù)分析軟件
用于高級干涉儀的高級軟件。4D Technology 的 4Sight™ 被認為業(yè)界良好的干涉測量軟件。
數(shù)據(jù)采集
?可以在4Sight™測量控制臺查看實時圖像的同時進行調(diào)整
?多種數(shù)據(jù)采集模式，如單次、平均、連續(xù)、差分和突發(fā)（電影）
數(shù)據(jù)分析
?斜率、直方圖
?衍射分析（PSF、MTF、自協(xié)方差）
?幾何光學(xué)分析（點擴散強度分布、圓形或方形孔徑能量分布）
?澤尼克分析
?各種掩模函數(shù)和其他自定義分析函數(shù)可以添加。
