主要特征：
• 有限元優(yōu)化的大型橋式機結構設計，保證了大行程測量機足夠的強度和長期使用時穩(wěn)定的精度。
• 采用的全鋁技術，的剛性/質量比，保證機器的高性能和高精度。
• X向橫梁采用超高精密三角梁(Tricision®)技術，相比矩形橫梁，重心更低，質量剛性比更佳，運動更加可靠，該技術受到保護。
• Y軸采用?？怂箍导瘓F獲得的燕尾型導軌，提高了測量機的精度和重復性。
• 三軸均采用高精度德國HEIDENHAIN光柵尺，系統(tǒng)分辨率可達0.078μm，同時采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形，保證在溫度變化時的線性伸縮。
• Z向采取獲得了的氣動平衡技術，采用柔性懸掛系統(tǒng)，避免了軸向運動和傳動系統(tǒng)之間的干涉問題，提高了測量機的精度和長期穩(wěn)定性。
• 各運動軸均采用直流伺服驅動+增強型同步帶，確保大行程測量機運動的平穩(wěn)性和定位的準確性。
• 采用?？怂箍禐镃roma專業(yè)打造的IDC-I控制系統(tǒng)，21項誤差空間修正技術和自動調諧功能，保證了機器的動態(tài)性能和測量精度。
• 的自動溫度補償功能，機器主機上布置高靈敏的溫度傳感器，保證了在溫度變化時，仍保持測量機的高精度。
規(guī)格型號與技術指標：
| 機器型號 | 121510 | 122210 | 123010 | 152210 | 153010 | 152212 | 153012 | |
| 行程(mm) | X | 1200 | 1200 | 1200 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| Y | 1500 | 2200 | 3000 | 2200 | 3000 | 2200 | 3000 | |
| Z | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 | 1200 | 1200 | |
| 外形尺寸(mm) | Lx | 1839 | 1839 | 1839 | 2139 | 2139 | 2139 | 2139 |
| Lx1 | 1738 | 1738 | 1738 | 2038 | 2038 | 2038 | 2038 | |
| Ly | 2896 | 3596 | 4396 | 3596 | 4396 | 3596 | 4396 | |
| Lz | 3480 | 3480 | 3480 | 3480 | 3480 | 3840 | 3840 | |
| Lz1 | 2307 | 2307 | 2337 | 2307 | 2337 | 2507 | 2537 | |
| 空間尺寸(mm) | Dz1 | 1173 | 1173 | 1173 | 1173 | 1173 | 1373 | 1373 |
| 工作臺尺寸(mm) | Ph | 600 | 600 | 630 | 600 | 630 | 600 | 630 |
| Py | 2480 | 3180 | 3980 | 3180 | 3980 | 3180 | 3980 | |
| 支撐點間距離(mm) | Sy1 | 555 | 800 | 890 | 800 | 890 | 800 | 890 |
| Sy2 | 1370 | 1630 | 2200 | 1630 | 2200 | 1630 | 2200 | |
| Sx | 1210 | 1210 | 1210 | 1510 | 1510 | 1510 | 1510 | |
| 鑲嵌件位置(mm) | A | 72 | 72 | 72 | 122 | 122 | 122 | 122 |
| B | 212.5 | 212.5 | 212.5 | 195 | 195 | 195 | 195 | |
| 主機凈重(Kg) | 3792 | 5696 | 7637 | 6730 | 9046 | 6760 | 9078 | |
| 被測零件重量(Kg) | 1800 | 2250 | 2250 | 2250 | 2250 | 2250 | 2250 | |
| MPEe(μm) | 3.5+L/300 | 4+L/300 | 4.5+L/300 | |||||
| MPEp(μm) | 4 | 4,5 | 5 | |||||
| 光柵尺分辨率 | 0.078μm | |||||||
| 空間移動速度 | 400mm/s | |||||||
| 空間移動加速度 | 1000 mm/s² | |||||||
| 流量/供氣壓力 | 2.5dm3/s (180NL/min) >0.7MPa | |||||||
| 溫度 | 20±2℃ | |||||||
| 濕度 | 45%-75% | |||||||
