三坐標(biāo)測量儀三軸采用天然高精密花崗巖導(dǎo)軌，保證了整體具有相同的熱力學(xué)性能，避免由于三軸材質(zhì)不同熱膨脹系數(shù)不同所造成的機器精度誤差。

　　三坐標(biāo)測量儀基本構(gòu)成：

　　1、 X向橫梁：采用精密斜梁技術(shù)。

　　2、Y向?qū)к墸翰捎玫闹苯蛹庸ぴ诠ぷ髋_上的整體下燕尾槽定位結(jié)構(gòu)。

　　3、導(dǎo)軌方式：采用自潔式預(yù)載荷高精度空氣軸承組成的四面環(huán)抱式靜壓氣浮導(dǎo)軌。

　　4、驅(qū)動系統(tǒng)：采用本產(chǎn)高性能DC直流伺服電機、柔性同步齒形帶傳動裝置，各軸均有限位和電子控制，傳動更快捷、運動性能更佳。

　　5、Z向主軸：可調(diào)節(jié)的氣動平衡裝置，提高了Z軸的定位精度。

　　6、控制系統(tǒng)：采用進口的雙計算機三座標(biāo)控制系統(tǒng)。

　　7、機器系統(tǒng)：采用計算機3D誤差修正技術(shù)（CAA），保證系統(tǒng)的長期的穩(wěn)定性和高精度。

　　8、測量軟件：采用功能強大的3D-DMIS測量軟件包，具有完善的測量功能和聯(lián)機功能。

　　軸移動懸臂型三坐標(biāo)測量儀介紹：

　　軸移動懸臂型，軸為主軸在垂直方向移動，廂形架導(dǎo)引主軸沿著垂直軸的水平懸臂梁在軸方向移動，懸臂梁沿著在水平面的導(dǎo)槽在軸方向移動，且垂直于軸和軸。此型為三邊開放，容易裝拆工件，且工件可以伸面即可容納較大工件，但因懸臂會造成精度不高。

　　三坐標(biāo)測量儀機型介紹：

　　結(jié)構(gòu)型式：三軸花崗巖、四面全環(huán)抱的德式活動橋式結(jié)構(gòu)

　　傳動方式：直流伺服系統(tǒng) 預(yù)載荷高精度空氣軸承

　　長度測量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.1μm

　　測頭系統(tǒng)：雷尼紹控制器、雷尼紹測頭、雷尼紹測針

　　機 臺：高精度（00級）花崗巖平臺

　　使用環(huán)境：溫度(20±2)℃，濕度40%-70% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h

　　空氣壓力：0.4 MPa - 0.6 Mpa

　　空氣流量：25 L/min

　　長度精度MPEe： ≤2.1 L/350 (μm)

　　探測球精度MPEp： ≤2.1μm

　　單支柱測量臺移動型三坐標(biāo)測量儀介紹：

　　單支柱測量臺移動型，軸為主軸在垂直方向移動，支柱上附有軸導(dǎo)槽，支柱被固定在測量儀本體上。測量時，測量臺在水平面上沿著軸和軸方向作移動。

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