EBARA荏原ESP-7型壓力傳感器
■ 特點
●由于使用了擴散型半導體傳感器,因此具有的可靠性和耐用性。
●受壓部使用SUS316L不銹鋼。
●即使在50kPa或更低的低壓下也具有的穩(wěn)定性。
●除空氣,水,油等外,它還可用于多種測量。
●我們主要生產(chǎn)ESP-7型傳感器,并生產(chǎn)多種應用產(chǎn)品,例如隔膜型和衛(wèi)生型,適合食品,化學藥品和制藥等各種應用。
壓力傳感器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)
工作原理
■工作原理
流體壓力首先由不銹鋼隔膜1接收。
壓力通過封閉在內(nèi)部的硅油(2)傳輸?shù)?/span>擴散型半導體傳感器,而不會造成壓力損失。
在擴散型半導體壓力傳感器中,將硅基板⑥接合至玻璃臺架⑨,并且將其部蝕刻成薄的隔膜形狀。
傳遞的壓力使隔膜變形,并改變上部形成的壓電電阻計⑦。
壓電電阻計由小電流驅(qū)動,并通過焊線⑤輸出與壓力成比例的電信號。
電信號由內(nèi)部電路板的放大電路部分放大,并作為由調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)的信號輸出,作為4至20 mA的電流輸出或1至5V的電壓輸出。
由于擴散型半導體壓力傳感器會因溫度變化而導致輸出變化較大,因此我們的壓力傳感器會根據(jù)其各自的特性進行溫度補償。
傳感器內(nèi)部結(jié)構(gòu)
壓力單位對照表
SI單位/舊單位指南/壓力類型