產(chǎn)品說明:
石墨烯生長爐由YB-GT管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,在真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì),混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表,能進(jìn)行30段程序控溫,移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。
軟件控制系統(tǒng):該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況,爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會實(shí)時(shí)繪出,并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時(shí)可以調(diào)出。
一:基本參數(shù):
1:加熱爐部分
2:爐膛模式開啟式爐膛
3:顯示模式觸摸屏
4:溫度1400℃
5:工作溫度≤1350℃
6:升溫速率建議10℃/Min Max:30℃/Min
7:預(yù)熱溫區(qū)長度150mm
8:主溫區(qū)長度300mm
9:預(yù)熱溫區(qū)移動(dòng)手動(dòng)移動(dòng)
10:主溫區(qū)移動(dòng)自動(dòng)移動(dòng),速度可以設(shè)定
二:設(shè)備特點(diǎn):
1:設(shè)備規(guī)格2000*85*1400mm(長*寬*高)
2:爐管長度2000mm
3:控溫精度±1℃
4:密封方式快速法蘭密封
5:溫度曲線30段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)
6:預(yù)存曲線可預(yù)存15條溫度曲線
7:超溫報(bào)警有
8:過流保護(hù)有
9:斷偶提示有
10:測溫元件s型熱電偶
11:爐膛材料氧化鋁纖維
12:射頻電源功率
13:信號頻率13.56 MHz±0.005%
14:功率輸出范圍5W-500W
15:功率穩(wěn)定度±0.1%
16:諧波分量≤-50dbc
17:供電電壓單相交流(187V-253V)頻率50/60HZ
18:整機(jī)效率>=70%
19:功率因素>=90%
20:冷卻方式強(qiáng)制風(fēng)冷
真空部分
1:工作電電壓220V±10%50~60HZ
2:功率500瓦
3:抽氣速率4L/s
4:進(jìn)氣口口徑KF25
5:排氣口口徑KF25
6:轉(zhuǎn)速1450rpm
7:噪音55dB
9:真空4X10-2Pa
氣路系統(tǒng)
1,2,3,4氣路采用DB07系列
準(zhǔn)確度:±1.5%
重復(fù)精度:±0.2%
響應(yīng)時(shí)間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec
工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa
整機(jī)系統(tǒng)特色
正壓測量-100Kpa---100Kpa
真空測量-100Kpa
超壓保護(hù)超壓保護(hù)值可以設(shè)定
壓力恒定恒定壓力值可以設(shè)定
智能氣路氣路系統(tǒng)可以編程
氣路定時(shí)通氣時(shí)間可以設(shè)定
射頻工作時(shí)間設(shè)定輝光放電時(shí)間可以設(shè)定,自動(dòng)關(guān)機(jī)
移動(dòng)速度調(diào)節(jié)移動(dòng)速度可以設(shè)定
系統(tǒng)真空度5Pa