一、掃描電子顯微鏡SEM3000產(chǎn)品概述:
掃描電子顯微鏡SEM3000是一款使用鎢燈絲的高性能掃描電子顯微鏡。觀察亞微米級的微觀結(jié)構(gòu),放大倍數(shù)可達到100000倍。此型產(chǎn)品具有快速更換燈絲的優(yōu)點。其分辨率輕松優(yōu)于10 nm。在自動五軸樣品臺的配合下,非常適用于生產(chǎn)品質(zhì)控制及樣品篩選,適合傳統(tǒng)光學顯微鏡無法滿足需求的用戶。
二、掃描電子顯微鏡SEM3000產(chǎn)品應(yīng)用:
三、掃描電子顯微鏡SEM3000產(chǎn)品參數(shù):
掃描模式
行掃:2 ms-80 ms 幀掃:0.4 s-160 s
快掃模式:512x512像素(可選256x256像素)
觀察模式:1024x1024像素(三檔速度)
拍照模式:4096x4096像素(三檔速度, 可選1024x1024像素)
真空系統(tǒng)
主泵:渦輪分子泵
前級泵:旋片式機械泵
系統(tǒng)極限真空度:5 x 10^-4Pa(渦輪分子泵)
探測器
二次電子、背散射電子(選配)、X能譜儀(選配)
樣品臺
X、Y、Z、R、T 五軸電動樣品臺
X:50 mm;
Y:50 mm;
Z:40 mm;
R:360°;
T:-15° 到+60°
安裝要求
電源:AC220 V;50 Hz;2KVA
地線:獨立地線一條,小于10Ω
溫度:15 ℃-30 ℃
濕度:≤70%
地面震動:≤5 μm/sec
交流磁場:≤0.3 μT
門寬:≥900 mm
外形尺寸和重量
主機 :700(W)x750
D)x1450(H);160 kg