一、儀器的功能及用途

能夠在大氣環(huán)境下準(zhǔn)確地測(cè)量樣品表面臺(tái)階變化；使用金剛石（鉆石）探針接觸直動(dòng)式測(cè)量的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。能精確可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。

二: 儀器的配置及主要技術(shù)指標(biāo)

1. 標(biāo)準(zhǔn)配置

1）接觸直動(dòng)式臺(tái)階儀主體

2）放大器

3）電腦以及相應(yīng)中文版測(cè)量軟件

4）打印設(shè)備

5）金剛石觸針

6）CCD以及觀測(cè)裝置

2．主要性能指標(biāo)

一、測(cè)定工件

v 1.工件尺寸：φ160mm

2.工件厚度：50mm

3.工件重量：2Kg

二、檢出器

1.Z方向測(cè)定范圍：Max.600μm

2.Z方向分辨率：0.1nm

3.測(cè)定力：1mg ~ 50mg

4.探針半徑：2μm

v 5.檢測(cè)驅(qū)動(dòng)方式：直動(dòng)式

v 6.再現(xiàn)性：0.2nm（1μm臺(tái)階儀下）

三、X軸

v 1.移動(dòng)量（測(cè)長(zhǎng)）：100mm

v 2.移動(dòng)真值度：0.2μm/100mm

3.移動(dòng)、測(cè)定速度：0.005 ~ 20mm/s

v 4.線性尺（linarscale）：分解能0.1μm

四、Z軸

1.移動(dòng)量：50mm

2.移動(dòng)速度：max.2mm/S

3.檢出器自動(dòng)停止機(jī)能

4.位置決定分解能：0.1μm

v 5.線性度：±0.25%

五、工件臺(tái)

1.工件臺(tái)尺寸：φ160mm

2.機(jī)械手動(dòng)傾斜：± 2℃(±５mm/160mm ）

六、工件觀察：max.110倍（可選其他高倍率CCD）

v 七、床臺(tái)：花崗巖石材質(zhì)（120KG機(jī)臺(tái)，低重心）

八、電源：AC100V±10%,50/60HZ, 300VA

九、機(jī)臺(tái)外觀尺寸及重量：W494×D440×H630mm,120kg