詳細(xì)說(shuō)明
NewView™ 9000 3D光學(xué)輪廓儀提供了強(qiáng)大、多功能的非接觸式光學(xué)表面分析。它可以簡(jiǎn)單和快速地測(cè)量各種表面類型，包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯式的表面。所有的測(cè)量都是無(wú)損、快速、無(wú)需樣品制備的。
ZYGO相干掃描干涉技術(shù)(CSI)是系統(tǒng)的核心技術(shù)，在所有放大倍數(shù)下實(shí)現(xiàn)亞納米的精度，并且能夠快速準(zhǔn)確的測(cè)試各種樣品表面，為客戶提供高投資回報(bào)率的體驗(yàn)。
性能，價(jià)值和多樣性
靈活性是ZYGO NewView產(chǎn)品的標(biāo)志。NewView 9000光學(xué)輪廓儀提供多樣化的應(yīng)用，包括平面度，粗糙度和波紋度，薄膜，臺(tái)階高度和更多應(yīng)用。
所有NewView 9000輪廓儀都配備一個(gè)3位變焦塔臺(tái)，可以為系統(tǒng)自動(dòng)切換不同倍率的分立變焦。樣品臺(tái)可選配手動(dòng)型或全自動(dòng)編碼型。
所有NewView 9000輪廓儀系統(tǒng)都提供高精度測(cè)量，易于使用和快速測(cè)量，價(jià)格吸引人，在通用性和應(yīng)用價(jià)值方面使其成為3D光學(xué)輪廓儀的理想選擇。
以下差異化特性實(shí)現(xiàn)用戶計(jì)量更好、更快和更可靠:
• 大面積1.9 MP傳感器：高靈敏度，在單次測(cè)量中獲取更多的信息
• 高速測(cè)量：只需幾秒時(shí)間，優(yōu)化的測(cè)試能力和程序控制
• 自動(dòng)零件聚焦和定位：減少操作員測(cè)試差異，提高培訓(xùn)和測(cè)試效率
• 重復(fù)性特征：優(yōu)異的測(cè)量精度和可重復(fù)性，為高要求的生產(chǎn)應(yīng)用提供服務(wù)
• 抗震測(cè)量： SureScan™抗震技術(shù)和集成式抗震平臺(tái)使系統(tǒng)在震動(dòng)環(huán)境下也可實(shí)現(xiàn)高精度計(jì)量
• SmartPSI™技術(shù)：對(duì)超光滑表面進(jìn)行快速分析測(cè)量
• 2D和3D的相關(guān)性：測(cè)量結(jié)果遵循ISO 25178和ISO 4287標(biāo)準(zhǔn)。
• Mx™軟件：實(shí)現(xiàn)儀器控制、分析和測(cè)量自動(dòng)化
*的分析&控制軟件
NewView 9000輪廓儀使用ZYGO Mx™軟件，支持完整系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析，包括豐富的交互式3D繪圖，量化的形貌信息，直觀的測(cè)量導(dǎo)航以及內(nèi)置的SPC統(tǒng)計(jì)，質(zhì)量控制圖，通過(guò)/失敗限制設(shè)置。
• 交互式3D繪圖 – 縮放，平移，旋轉(zhuǎn)，并實(shí)時(shí)更新結(jié)果。
• 靈活分析 – 廣泛的定量分析結(jié)果，包括數(shù)據(jù)視圖和過(guò)濾器。
• 直觀的用戶界面 – 易于學(xué)習(xí)和使用的流程界面設(shè)計(jì)。
• 內(nèi)置SPC分析工具 – 跟蹤結(jié)果，監(jiān)控合格/不合格的標(biāo)準(zhǔn)，跟蹤處理數(shù)據(jù)。
還有滿足特殊應(yīng)用需求的應(yīng)用程序模塊，如透明薄膜的樣品測(cè)量，2D圖像分析等。
靈活的配置
NewView 9000輪廓儀的工作區(qū)域功能開(kāi)放，界面條理清晰，使測(cè)量設(shè)置和轉(zhuǎn)換簡(jiǎn)單&快速。系統(tǒng)可以配備多種樣品平臺(tái)，從手動(dòng)型到全自動(dòng)型，150毫米XY平移和4度俯仰傾斜?？蛇x集成式的抗震平臺(tái)，緊湊的尺寸，使它非常適合于臺(tái)式安裝，結(jié)合可選的工作臺(tái)使其成為理想的生產(chǎn)型測(cè)試系統(tǒng)
