產(chǎn)品特點(diǎn):
◆高分辨
由于采用了共聚焦成像原理,Smartproof 5將傳統(tǒng)光學(xué)分辨率提高1.4倍,其XY方向線分辨率達(dá)到120 nm。
◆高測量精度
同時(shí),在充分利用共聚焦能提供高度信息的基礎(chǔ)上,Smartproof 5配備了精度高、重復(fù)性好的Z軸自動(dòng)步進(jìn)裝置,最小步進(jìn)精度達(dá)到1nm,這使得高度上亞微米,甚至納米尺度的非接觸式精確測量成為可能。
◆高速掃描
傳統(tǒng)共聚焦采用點(diǎn)掃描成像,速度較慢;而Smartproof 5采用轉(zhuǎn)盤掃描,成像速度大大提高,的高精度模式掃描速度超過50幅/秒(2048*2048分辨率),可以說瞬間即可得到測量結(jié)果,大大提高工作效率。
◆真實(shí)色彩還原
還可使用三色LED 光源,能夠展現(xiàn)被測試樣表面的真實(shí)顏色,從而將傳統(tǒng)黑白共聚焦掃描顯微鏡拓展到更廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域。
技術(shù)參數(shù):
◆1. 波長:405nm
◆2. 分辨率:120nm
◆3. Z軸最小步進(jìn)精度:1nm
◆4. 成像速度:常規(guī)共聚焦的2-3倍
◆5. 物鏡:2.5x-100x
◆6. 高度掃描范圍:高達(dá)5mm
◆7. 載物臺(tái):150mm×150mm超大行程
◆8. 控制系統(tǒng):Smartproof 5應(yīng)用軟件
◆9. 圖像處理和數(shù)據(jù)測量 :
2D:距離,高度,角度,構(gòu)造元素,基于ISO 4287的輪廓粗糙度
3D:水平距離,3D距離,高度,角度,構(gòu)造點(diǎn),面積,體積,基于ISO 25178的面粗糙度
其他:水平調(diào)整,形狀去除,濾波,去噪,報(bào)告
應(yīng)用:
◆1. 汽車制造:研究活塞的摩擦磨損、特殊要求的部件表面粗糙度測量、焊接組件及接縫處的角度測量
◆2. 航空航天工業(yè):評(píng)價(jià)橡膠密封圈的磨損、特殊要求表面 的粗糙度分析
◆3. 科研:植入器官的表面測量
◆4. 微光學(xué)/機(jī)械制造:敏感精密光學(xué)部件的表面測量、精密機(jī)械部件的精密幾何測量
◆5. 電子:導(dǎo)線的幾何量測量(寬度,厚度等)、焊接結(jié)點(diǎn)的質(zhì)量過程控制
◆6. 造紙:紙張以及印刷品的表面測量