中科院微電子研究所KWD大型臺式勻膠機(jī)/旋涂儀200-600mm
> 參數(shù):手動旋鈕控制
> 基片尺寸φ200-φ600mm圓片、500x500mm2方片
> 轉(zhuǎn)速:200-2000轉(zhuǎn)/分
> 顯示轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1,膠的均勻性±5%
> 勻膠階段:2段
> 勻膠時間:3-60s可調(diào)
> 電機(jī)功率:320W
> 儀器尺寸:980mmx855mmx855mm
> 適用材料:硅片、玻璃、石英、金屬GaAs、GaN、InP等多種材料