主要特點:
(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;
(2)轉子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉平穩(wěn)。轉子間及轉子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅動功率,從而可實現(xiàn)較高轉速;
(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;
(4)泵腔內(nèi)無壓縮,無排氣閥。結構簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;
(5)壓縮比較低,對氫氣抽氣效果差;
(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。
應用范圍:
電子、半導體、木工、制藥、吸盤、搬運、包裝、印刷、環(huán)保、醫(yī)院等。