落地式結構,一體化多層防震結構
3000系列推出的系列機臺,外觀更加美觀大氣,抗振效果更佳。
搭載溫度傳感器
儀器搭載了溫度傳感器,軟件界面實時顯示外界溫度,可監(jiān)控儀器在不同溫度狀態(tài)下的精度表現(xiàn)。
輪廓測量·高精度傳感器
指示精度:≤±(0.6+|0.1H|)μm
3000系列推出的系列機臺,外觀更加美觀大氣,抗振效果更佳。
搭載溫度傳感器
儀器搭載了溫度傳感器,軟件界面實時顯示外界溫度,可監(jiān)控儀器在不同溫度狀態(tài)下的精度表現(xiàn)。
大量程高精度輪廓傳感器
輪廓測量·高精度傳感器
指示精度:≤±(0.6+|0.1H|)μm
自主研發(fā)寬范圍粗糙度傳感器
粗糙度測量·高分辨率傳感器
指示精度:≤±(5nm+2.5%)
粗糙度測量·高分辨率傳感器
指示精度:≤±(5nm+2.5%)
項目 | 規(guī)格 | |
測量范圍 | X軸 | 0-220mm可選 |
Z軸 | 0-620mm可選 | |
Z1軸 | C:0-±30mm可選/R:±620μm | |
Z1輪廓指示精度 | ≤±(0.6+|0.1H|)μm | |
Z1粗糙度指示精度 | ≤±(5nm+2.5%) |