BX53M工業(yè)正置顯微鏡
顯微觀察 便捷的顯微操作
簡單的、向?qū)降娘@微鏡操作設(shè)置,更容易進(jìn)行調(diào)節(jié),并復(fù)制系統(tǒng)設(shè)置。
功能性
BX53M為工業(yè)顯微鏡檢查而設(shè)計(jì),并擴(kuò)展了其功能,以滿足更廣泛的應(yīng)用和檢查技術(shù)的要求。
精密的光學(xué)元件
具有生產(chǎn)高質(zhì)量光學(xué)元件的悠久歷史,無論用目鏡觀察,還是通過顯示器觀察,都具備優(yōu)質(zhì)的圖像畫質(zhì)。
可定制性
模塊化設(shè)計(jì)可以為用戶靈活地構(gòu)建滿足其特殊要求的系統(tǒng)。
直觀的顯微鏡控制舒適而便于使用
顯微檢查任務(wù)常常需要用很長的時(shí)間來調(diào)節(jié)顯微鏡設(shè)置、獲取圖像,以及進(jìn)行必要的測(cè)量,從而得到令人滿意的報(bào)告。用戶有時(shí)需要投入時(shí)間和金錢去完成專業(yè)的顯微鏡培訓(xùn),或只了解了顯微鏡全部功能的很小部分就開展工作。
BX53M通過其優(yōu)良的設(shè)計(jì)和便捷的控制功能,簡化了復(fù)雜的顯微檢查任務(wù)。用戶不需要長時(shí)間的培訓(xùn)即可掌握顯微鏡的大多數(shù)功能。方便而舒適的操作還改善了圖像的再現(xiàn)性,減少了人為錯(cuò)誤。
編碼硬件:易恢復(fù)顯微鏡設(shè)置
BX53M采用了新的編碼功能,將顯微鏡的硬件設(shè)置與圖像分析軟件整合在一起。觀察方法、照明強(qiáng)度和物鏡位置全都記錄在軟件和/或手動(dòng)控制器里。編碼功能使顯微鏡設(shè)置能夠與每幅圖像一起自動(dòng)保存,從而使此后還原設(shè)置,以及為報(bào)表提供文檔記錄更加方便。既節(jié)省了操作者的時(shí)間,又減小了使用不正確設(shè)置的概率。當(dāng)前的觀察設(shè)置總是清晰地顯示在手動(dòng)控制器和軟件上。
BX53M規(guī)格(用于反射和反射/透射光組合)
BX53MTRF-S | BX53MRF-S | BXFM | ||
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正) | |||
顯微鏡機(jī)架 | 照明 | 反射/透射 | 反射 | |
對(duì)焦 | 行程:25 mm | 行程:30 mm | ||
樣品高度 | 35 mm (不含高度適配器) | 65 mm (不含高度適配器) | 取決于安裝配置 | |
觀察筒 | 寬視野FN22 | 倒像:雙目、三目、傾斜式雙目 | ||
超寬視野FN26.5 | 倒像:三目 | |||
反射光照明 | 常規(guī)觀察技術(shù) | BX3M-RLAS-S | ||
- | U-KMAS | |||
熒光 | BX3M-URAS-S | |||
透射光 | 白光LED | - | ||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 用于BF | 六孔,對(duì)中六孔,七孔,編碼五孔(選配電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器) | ||
用于BF/DF | 六孔,五孔,對(duì)中五孔,編碼五孔(選配電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器) | |||
載物臺(tái) | 同軸左手(右手)操作載物臺(tái): | - | ||
重量 | 大約18.3 kg | 大約15.8 kg | 大約11.1 kg |
BX53M規(guī)格(用于紅外觀察)
BX53MRF-S | BXFM | ||
IR觀察筒 | 寬視野FN22 | 倒像:三目 | |
反射光照明 | IR觀察 | BX3M-RLA-S | |
– | U-KMAS | ||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 用于BF | 六孔,對(duì)中六孔,七孔,編碼五孔(選配電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器) | |
Stage (X × Y) | 同軸左手(右手)操作載物臺(tái): | – | |
重量 | 大約18.9 kg(顯微鏡機(jī)架7.4 kg) | 大約11.6 kg(顯微鏡機(jī)架1.9 kg) |
BX53M規(guī)格(用于偏光觀察)
BX53MTRF-S | ||
偏光中間附件 | 寬視野FN22 | 倒像:雙目、三目、傾斜式雙目 |
勃氏鏡 | 可對(duì)焦(僅適用于U-CPA) | |
勃氏鏡視場(chǎng)光闌 | 直徑Ø3.4mm(固定)(僅適用于U-CPA) | |
切換正像鏡檢和錐光鏡檢時(shí)加入或退出勃氏鏡 | 滑塊位置 ● 進(jìn)入 | |
檢偏鏡插槽 | 旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插槽(U-AN360P-2) | |
檢偏鏡(U-AN360P-2) | 可旋轉(zhuǎn)360°的撥盤 | |
對(duì)中式物鏡轉(zhuǎn)換器(U-P4RE) | 四孔,附對(duì)中裝置:1/4λ偏振片(U-TAD), | |
載物臺(tái)(U-SRP) | 帶3點(diǎn)對(duì)中功能的偏光專用旋轉(zhuǎn)載物 | |
聚光鏡(U-POC-2) | 消色差無應(yīng)力聚光鏡(U-POC-2),帶外擺式消色差頂部透鏡的可旋轉(zhuǎn)360°起偏鏡。 | |
重量 | 大約16.2 kg(顯微鏡機(jī)架7.6 kg) |
MX63/MX63L 半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡
滿足電子行業(yè)需求
功能性
為滿足電子行業(yè)的人體工學(xué)和安全性要求而設(shè)計(jì)的附加功能以增強(qiáng)分析能力
人性化
簡潔的顯微鏡設(shè)置使用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置變得更為輕松。
的成像技術(shù)
光學(xué)器件和優(yōu)良的成像技術(shù)可獲得清晰圖像,并完成檢測(cè)。
模塊化
用戶可通過選擇適合其應(yīng)用的模塊進(jìn)行系統(tǒng)定制。
分析工具
MX63系列的各種觀察功能可生成清晰的圖像,讓用戶能夠?qū)悠愤M(jìn)行缺陷檢測(cè)。照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項(xiàng)為用戶評(píng)估樣品和存檔檢測(cè)結(jié)果提供更多選擇。
通過暗場(chǎng)與明場(chǎng)、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用,MIX觀察技術(shù)能夠獲得特殊的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以觀察的缺陷。暗場(chǎng)觀察所用的環(huán)形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗場(chǎng)功能。該功能可減少樣品光暈,有助于觀察樣品的表面紋理。
OLS5100 3D測(cè)量激光顯微鏡
3D測(cè)量激光顯微鏡OLS5100。可保證準(zhǔn)確度和重復(fù)性的智能功能,OLS5100為用戶提供用于質(zhì)量保證和工藝控制的可靠數(shù)據(jù)的同時(shí),讓材料科學(xué)實(shí)驗(yàn)的流程更快、更高效。
智能工作流程,提升檢測(cè)效率
OLS5100激光顯微鏡專為分析和材料工程研究,的測(cè)量精度和光學(xué)性能與智能工具相結(jié)合,使顯微鏡易于使用。在亞微米級(jí)精確測(cè)量形狀和表面粗糙度方面,可以快速有效地?cái)?shù)據(jù),簡化操作員的工作流程。
測(cè)量精度穩(wěn)定
物鏡是顯微鏡最重要的光學(xué)部件,利用光線使被檢物體次成像,因而直接關(guān)系和影響成像的質(zhì)量和各項(xiàng)光學(xué)技術(shù)參數(shù)。在實(shí)際開展測(cè)量工作中,不同檢測(cè)對(duì)象所需物鏡大小不盡相同。
奧林巴斯LEXT OLS5100 3D測(cè)量激光顯微鏡的智能物鏡選擇助手(Smart Lens Advisor)可以為表面粗糙度測(cè)量選出合適的物鏡。智能物鏡選擇助手可通過三個(gè)簡單的步驟根據(jù)應(yīng)用情況對(duì)物鏡評(píng)分,用戶由此即可知道其所使用的物鏡是否合適,讓測(cè)量結(jié)果保持穩(wěn)定,不受操作員技能水平的影響。
更快掃描 更高精度
通過配備適用于表面形貌表征的LEXT激光專用物鏡OLS5100激光顯微鏡可檢測(cè)最小6納米的臺(tái)階高度差,從而實(shí)現(xiàn)高度精確的測(cè)量,MEMS掃描振鏡讓系統(tǒng)能夠以高分辨率掃描整個(gè)表面,為了獲得更高質(zhì)量的圖像,可選擇能夠獲得更出色圖像質(zhì)量的4K掃描模式,即便細(xì)微到120nm結(jié)構(gòu),仍然可以獲得清晰的圖像,系統(tǒng)將掃描速度和數(shù)據(jù)精度進(jìn)行了配比。
借助PEAK算法,OLS5100激光顯微鏡可在數(shù)秒內(nèi)采集數(shù)十微米范圍內(nèi)的數(shù)據(jù),如果想要獲得更快的結(jié)果,“跳躍掃描”模式可讓系統(tǒng)在短短20秒內(nèi),測(cè)量1毫米的臺(tái)階高度差,顯微鏡操作非常簡便,只需點(diǎn)擊“開始”按鈕即可自動(dòng)采集3D數(shù)據(jù),智能掃描功能可自動(dòng)優(yōu)化成像設(shè)置,盡可能減少不同操作人員導(dǎo)致的人為差異。
數(shù)據(jù)分析 簡便易用
DSX 1000光學(xué)數(shù)碼顯微鏡
DSX1000 數(shù)碼顯微鏡用于觀察和測(cè)量各種樣品,包括電子元件和金屬材料。此顯微鏡使用簡單,只要放上樣品,就可以輕松地完成 3D 觀察、測(cè)量、報(bào)告自動(dòng)生成等一系列操作。
滿足各種觀察和分析需要,改善檢驗(yàn)的工作流程。鏡頭數(shù)量增加至 15 個(gè),涵蓋20-7,000X的放大倍率。用戶還可以利用該顯微鏡的六種觀察方法,對(duì)各種樣品進(jìn)行觀察與測(cè)量。比如突出顯示樣品表面的不規(guī)則和輪廓形貌。顯微鏡頭部和載物臺(tái)可以分別進(jìn)行± 90°的自由角度調(diào)節(jié),從而滿足對(duì)各種復(fù)雜外形樣品的任意角度觀察。另外,可實(shí)現(xiàn)更快的 3D 圖像采集,與奧林巴斯傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡相比,速度快了近十倍。最后,我們將根據(jù)每位用戶的工作環(huán)境校準(zhǔn)顯微鏡,以幫助用戶實(shí)現(xiàn)精確、高效的觀察和測(cè)量。
主要特點(diǎn):
放大倍率范圍 20–7,000X,可旋轉(zhuǎn)式載物臺(tái)。
可迅速切換物鏡和六種觀察方式。
放大倍率范圍 20–7,000X,可旋轉(zhuǎn)式載物臺(tái)
DSX1000 數(shù)碼顯微鏡新增了 5 個(gè)物鏡,物鏡總數(shù)達(dá)到 15 個(gè)。20-7,000X 的放大倍率范圍實(shí)現(xiàn)了精確觀察,而長工作距離物鏡則實(shí)現(xiàn)了對(duì)不規(guī)則樣品的觀察,例如電路板和機(jī)加工零件。顯微鏡頭部和載物臺(tái)都可以旋轉(zhuǎn)± 90°,更易于觀察和分析薄樣品,如晶圓,或大型樣品,如汽車部件。
BX53-P型研究級(jí)專業(yè)奧林巴斯偏光顯微鏡
UIS2物鏡觀察到的鮮明影像
能夠?qū)崿F(xiàn)最小光學(xué)失真的偏振光用物鏡ACHN-P、UPLFLN-P系列產(chǎn)品中選擇所需產(chǎn)品。UPLFLN-P系列物鏡是能夠用于微分干涉觀察和包括紫外線激發(fā)的熒光觀察的通用物鏡,能應(yīng)對(duì)包含偏振光觀察的多種研究和檢查。
觀察影像實(shí)例
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的操作性能和光學(xué)性能
操作簡便、觀察清晰的顯微鏡機(jī)體
追求人機(jī)工程學(xué)的Y形框架,操作更為舒適,提高了觀察效率。極大地降低了長時(shí)間觀察的疲勞度。
視場(chǎng)數(shù)達(dá)到了22,與一般視場(chǎng)數(shù)為20的顯微鏡相比,觀察的范圍增寬了21%。此外,照明系統(tǒng)采用了12 V,100 W明亮的鹵素?zé)?,能觀察明亮逼真的偏振光影像。
支持更高效的偏振光觀察的載物臺(tái)
帶有旋轉(zhuǎn)中心輸出機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)載物臺(tái),樣品可以流暢旋轉(zhuǎn)。此外,每隔45°裝有的鎖定機(jī)構(gòu),提高了觀察效率。
旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)上裝有復(fù)式機(jī)械載物臺(tái),能夠控制樣品的細(xì)微移動(dòng)。
STM7 奧林巴斯測(cè)量顯微鏡
通過整合光學(xué)顯微鏡和測(cè)量能力實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量
多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了優(yōu)異的觀察性能STM7奧林巴斯測(cè)量顯微鏡系列采用了光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度,此外,像差也被消除,以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。
使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀察
STM7測(cè)量顯微鏡可以通過安裝一個(gè)測(cè)量物鏡適配器使用測(cè)量物鏡,而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后,便可使用金相物鏡。這意味著, STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)同時(shí)結(jié)合在一臺(tái)測(cè)量顯微鏡中。通過這種方式,無論是測(cè)量大型樣品還是精細(xì)樣品,或是表面高度差異大的樣品,STM7系列都可以對(duì)應(yīng)并協(xié)助用戶選擇的觀察方法。由于測(cè)量物鏡具有非常長的工作距離,因此可以在對(duì)表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時(shí)候,無需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外,借助測(cè)量物鏡的低倍率能力,可以一次觀察到較大的視場(chǎng)。
SZX10研究級(jí)系統(tǒng)立體顯微鏡
可靠性和重復(fù)性
可以快速檢查的操作部
| 無需更換鏡頭可實(shí)現(xiàn)0.63~6.3倍的廣范圍倍率觀察。有卡位的定倍觀察與連續(xù)變倍觀察均可實(shí)現(xiàn),并且可裝載2個(gè)物鏡的物鏡轉(zhuǎn)換器,可以獲得更高倍觀察。相機(jī)拍攝時(shí),光軸可以垂直設(shè)定,不受樣本方向影響,獲得高可靠性觀察及測(cè)量結(jié)果。 |
豐富的產(chǎn)品陣容,可以選擇所需物鏡
| DFPL2x/DPFL1.5x /DFPL 0.75x /DFPL 0.5x
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人體工程學(xué)設(shè)計(jì)和速度
基于人體工程學(xué)的舒適操作環(huán)境
基于人體工程學(xué),追求操作者舒適的操作環(huán)境。高性能的奧林巴斯目鏡有超寬市場(chǎng),不管短時(shí)間或長時(shí)間,觀察3D圖像時(shí)都能輕松觀察到,所以減輕眼疲勞。為不同操作者身高差異,準(zhǔn)備了上下5~45°可調(diào)傾斜角度的觀察筒。
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自動(dòng)化
SZX10電動(dòng)調(diào)焦驅(qū)動(dòng)使景深擴(kuò)展技術(shù)(EFI) 數(shù)碼存檔變的更為高效,并實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)化。借此甚至可以創(chuàng)立模擬3D圖像,消除文檔和眼睛在透過立體鏡光路所看到的影像間的間隙。為了促進(jìn)自動(dòng)化觀測(cè),提供了各種工具,不僅可以進(jìn)行簡單的2D測(cè)量,還可以在易于操作的環(huán)境下進(jìn)行復(fù)雜的分析。
多樣化的照明單元
| LED透射照明底座的采用,使厚度減小到原有透射照明裝置的一半。可以在觀察和作業(yè)時(shí)把樣品放置到較低位置,從而降低視點(diǎn)。可以用于明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)和偏振光觀察,電能消耗大約是原來的一半,經(jīng)濟(jì)實(shí)惠。 |
豐富的反射照明產(chǎn)品陣容
備有環(huán)形照明、同軸反射照明等多種反射照明裝置??梢愿鶕?jù)樣品和用途選擇最合適的照明環(huán)境。
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智能數(shù)字影像
保存和分析數(shù)碼影像
使用SZX10,用戶會(huì)想要記錄或展示樣本實(shí)時(shí)觀察的數(shù)碼影像。通過使用三目頭和在軸向成像方向上移動(dòng)物鏡,可以獲得樣本的垂直視圖。配備奧林巴斯DP冷卻型數(shù)碼照相機(jī)可以實(shí)現(xiàn)靈活的成像系統(tǒng)。這是為高分辨率的圖像(1730萬像素)和查看實(shí)時(shí)高速影像設(shè)計(jì)的。高級(jí)界面可以實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的色彩重現(xiàn)并且樣本移動(dòng)時(shí)也不會(huì)產(chǎn)生色彩偏差。
技術(shù)規(guī)格:
科研級(jí)系統(tǒng)體視顯微鏡 SZX10 規(guī)格 | ||||||
光學(xué)系統(tǒng) | 伽利略光學(xué)系統(tǒng) | |||||
總放大[率] | 3.15x~378x※1 | |||||
變倍體 | 變焦比 | 10(0.63x~6.3x) | ||||
AS | 內(nèi)置 | |||||
觀察筒 | 雙目/三目/傾斜三目觀察筒 | |||||
對(duì)焦單元 | 對(duì)焦裝置/粗調(diào)微調(diào)對(duì)焦裝置/重負(fù)載用粗調(diào)微調(diào)對(duì)焦裝置/電動(dòng)對(duì)焦裝置 | |||||
物鏡 | 倍率 | 種類 | N.A. | W.D.(mm) | 觀察倍率※2 | 觀察范圍(mm)※2 |
0.5x | 平場(chǎng)消色差透鏡 | 0.05 | 171 | 3.2x~31.5x | φ69.8~φ7 | |
0.75x | 平場(chǎng)消色差透鏡 | 0.075 | 116 | 4.7x~47.3x | φ46.6~φ4.7 | |
1x | 平場(chǎng)復(fù)消色差透鏡 | 0.1 | 81 | 6.3x~63x | φ34.9~φ3.5 | |
消色差透鏡 | 0.1 | 90 | 6.3x~63x | φ34.9~φ3.5 | ||
1.25x | 平場(chǎng)復(fù)消色差透鏡 | 0.125 | 60 | 7.9x~78.9x | φ27.9~φ2.8 | |
消色差透鏡 | 0.125 | 68 | 7.9x~78.9x | φ27.9~φ2.8 | ||
1.5x | 平場(chǎng)消色差透鏡 | 0.15 | 45.5 | 9.5x~94.5x | φ23.3~φ2.3 | |
2x | 平場(chǎng)消色差透鏡 | 0.2 | 33.5 | 12.6x~126x | φ17.5~φ1.7 | |
外形尺寸 | 285(W)×335(D)×400(H)mm | |||||
重量 | 7 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合) | |||||
備注 | ※1 物鏡與目鏡組合時(shí)的倍率范圍 |