產(chǎn)品描述
P-7臺式探針式輪廓儀支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達150mm而無需圖像拼接。作為臺式探針輪廓儀平臺提供了的性價比。
主要功能
· 臺階高度:幾納米至1000μm
· 微力恒力控制:0.03至50mg
· 樣品全直徑掃描,無需圖像拼接
· 視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像機
· 圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差
· 軟件:簡單易用的軟件界面
· 生產(chǎn)能力:通過測序,模式識別和SECS/GEM實現(xiàn)全自動化
主要應用
· 臺階高度:2D和3D臺階高度
· 紋理:2D和3D粗糙度和波紋度
· 形狀:2D和3D翹曲和形狀
· 應力:2D和3D薄膜應力
· 缺陷復檢:2D和3D缺陷表面形貌
工業(yè)應用
· 大學、研究實驗室和研究所
· 半導體和化合物半導體
· LED:發(fā)光二極管
· 太陽能
· MEMS:微機電系統(tǒng)
· 數(shù)據(jù)存儲
· 汽車
· 醫(yī)療設備
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