精度范圍：≤(3.0+L/200)um L爲被測長度(單位:mm)
操作方式：全閉環(huán)CNC控制
量測分辨率：0.0005mm
三軸控制系統(tǒng)：日本松下伺服傳動系統(tǒng)或同等級產(chǎn)品
成像系統(tǒng)：采用超清美國TEO成像技術(shù)或同等級產(chǎn)品
軟體：三軸自動可程控式多功能軟體，可實現(xiàn)多重復(fù)雜測量自動編程
放大倍數(shù)：超低變形 多段倍率遠心光學(xué)設(shè)計光學(xué)放大倍率0.7-4.5X影像放大倍率20-140X(可定制40-280X)
精密側(cè)頭（選配）：

原裝英國雷尼紹MCP高精度三維測量頭，可針對內(nèi)錐

深度.高度.平面度.傾斜度.直線度等等簡單三維測量

激光測頭（選配）：

原裝日本基恩士激光測頭可針對可于透明件，玻璃鍍層

玻璃曲翹的快速測量 平面度，厚度.深度 高度 偏擺等等