基于25年經(jīng)驗,UVISEL Plus相位調(diào)制橢偏儀提供純正有效的偏振調(diào)制,可用于各種樣品的精確測量,的FastAcqTM快速采集技術(shù)使得測試靈敏度提高至原有的2倍,從而能獲得界面薄膜和納米級低襯度襯底樣品的更多信息。可在3分鐘以內(nèi)實現(xiàn)高分辨的樣品測試(190-2100nm),校準僅需幾分鐘。模塊化設(shè)計,可靈敏拓展,具有更好的可升級性能。UVISEL Plus是一款高準確性、高靈敏度、高穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機型。
主要特點
* 50kHz 高頻PEM 相調(diào)制技術(shù),測量光路中無運動部件
* 具備超薄膜所需的測量精度,超厚膜所需的高光譜分辨率
* 具有毫秒級超快動態(tài)采集模式,可用于在線實時監(jiān)測
* 自動平臺樣品掃描成像、變溫臺、電化學(xué)反應(yīng)池、液體池、密封池等多種附件
* 配置靈活
規(guī)格參數(shù)
調(diào)制方式 | 相位調(diào)制+斬波器 雙調(diào)制 |
調(diào)制頻率 | 50kHz |
光譜范圍 | 190-920nm(可擴展到2100nm) * UVISEL NIR (250 nm -2100 nm ) * UVISEL VIS (210 nm -880 nm ) * UVISEL FUV(190 nm -880 nm ) * UVISEL VUV(142 nm -880 nm ) |
光譜分辨率 | <> |
雜散光抑制率 | <> |
色散公式 | ≥ 31個 |
材料模型庫 | ≥ 300個 |
微光斑類型 | 反射式,全光譜消色差 |
微光斑可選 | 50μm,100μm,1mm(90度) |
探測器 | 分別針對紫外,可見和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測器 |
樣品臺 | 手動/自動,支持12英寸晶圓(可選) |
自動量角器 | 變角范圍35° - 90°,全自動調(diào)整,最小步長0.01° |