在產(chǎn)生等離子體的過程中，高頻放電所產(chǎn)生的瞬間高能copy量能夠打開某些有害氣體分子的化學(xué)能，如：氨、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫.醚、二.甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結(jié)構(gòu)，使有機或無機高分子惡臭化合物分2113子鏈分解為單質(zhì)原子或無害分子。

等離子體中包含大量的高能電子、正負(fù)離子、搜索激發(fā)態(tài)粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分廢氣分5261子碰撞結(jié)合，在電場作用下，廢氣分子處于激發(fā)態(tài)，當(dāng)廢4102氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時，廢氣分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得無害氣體分子。同時產(chǎn)生的大量?OH、?HO2、?O等活性自由基和氧化性1653的O3，能與有害氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，后生成無害產(chǎn)物。

等離子體被稱為物質(zhì)第4形態(tài)，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子體有機氣體凈化器是利用等離子體。以每秒800萬次至5000萬次的速度反復(fù)轟擊異味氣體的分子，去電離、裂解廢氣中的各種成份，從而發(fā)生氧化等一系列復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，再經(jīng)過多級凈化，將有害物轉(zhuǎn)化為潔凈的空氣釋放至大自然。

低溫等離子廢氣凈化器工作原理是采用高壓發(fā)生器形成低溫等離子體，在平均能量約5eV的大量電子作用下，使通過凈化器的有害物質(zhì)如苯、甲苯、二甲苯等有機廢氣分子轉(zhuǎn)化成各種活性粒子，與空氣中的O2結(jié)合生成H2O、CO2等低分子無害物質(zhì)，使廢氣得到凈化。在處理過程中，當(dāng)有機氣體進(jìn)入冷離子體反應(yīng)室時，氣體被均勻分配到等離子反應(yīng)室（PRC）。反應(yīng)室分成六邊形管子，每根管子的中間有一根金屬絲桿電極，與反應(yīng)室獨立隔開。通過高壓線對反應(yīng)室導(dǎo)通可調(diào)節(jié)高壓，高壓導(dǎo)通到管子里的金屬絲桿電極上。由金屬絲桿電極至管壁產(chǎn)生放電現(xiàn)象。一旦放電，等離子體電子就與氣體分子相撞擊，產(chǎn)生化學(xué)性活性核素，就是通常所說的激進(jìn)和負(fù)荷載體。

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