指標特點 | Elli-SE | μ-Spot Spectroscopic Ellipsometer |
測量常數(shù) | 膜層厚度,折射率n,消光系數(shù)k,波長λ | 膜層厚度,折射率n,消光系數(shù)k,波長λ |
膜厚范圍 | 亞埃級-10微米(取決于膜層) | 亞埃級-10微米(取決于膜層) |
波長范圍 |
240 ~ 1050 nm (紫外線) or 380 ~ 1050 nm 光譜范圍選項:Duv深紫外:193nm, IR紅外: 900nm ~ 1700nm, 900nm~ 2,200nm
| 240 ~ 1050 nm(紫外線) 光譜范圍選項:Duv深紫外:190nm, IR紅外: 900nm ~ 1700nm, 900nm~ 2,200nm
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測量能力 |
正常模式(~10 sec) 快速(1~3 sec)每點(取決于膜層) |
正常模式(~10 sec) 快速(1~3 sec)每點(取決于膜層)
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束斑直徑-尺寸 | 1.5 mm (可選 100μm, 50 μm, 20 μm) | 10μm, 25 μm, 50 μm, 100μm |
入射角 | 45°~90°(自動變換角度) | 45°~90°(自動變換角度) |
膜層數(shù)量 | 多至10層(取決于膜層) | 多至10層(取決于膜層) |
重復性 | 10次測量在(3σ) ±0.3 Å | 10次測量在(3σ) ±0.3 Å |
色散關系 | Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Tauc-Lorentz, Quantum-Mechanical(量子力學), Drude-TL, Drude-QM 等 | Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Tauc-Lorentz, Quantum-Mechanical(量子力學), Drude-TL, Drude-QM等 |
提供功能 | 折射率、消光系數(shù)和光帶隙 薄膜密度和組成,材料的色散函數(shù)庫 用戶定義的模型功能,數(shù)據(jù)導入和導出功能,可擴展庫 | 折射率、消光系數(shù)和光帶隙 薄膜密度和組成,材料的色散函數(shù)庫 用戶定義的模型功能,數(shù)據(jù)導入和導出功能,可擴展庫 |
應用 | 介質(zhì)層,半導體,聚合物的厚度測量、支持正反面反射、非常薄膜層,非常厚膜層、多種襯底、半導體材料、顯示、介質(zhì)、聚合物、化合物、太陽能電池 | 介質(zhì)層,半導體,聚合物的厚度測量、支持正反面反射、非常薄膜層,非常厚膜層、多種襯底、半導體材料、顯示、介質(zhì)、聚合物、化合物、太陽能電池 |
北京朗銘潤德光電科技有限公司是一家在半導體微電子、高精密光學鍍膜領域,光伏、光熱、鋰電池等新能源領域以及窗膜、汽車膜、柔性電路板等行業(yè)提供專業(yè)相關工藝設備的代理公司。從2006年起與德國微電子設備專業(yè)廠家FHR公司開始合作,并于2008年成為其中國區(qū)代理機構。通過我們的合作,使 FHR的產(chǎn)品逐漸進入中國,并成為國內(nèi)鍍膜設備的供貨商。我們于 2010 年在北京石景山中關村高科技園區(qū)成立了專業(yè)代理國外微電子半導體及相關設備的北京朗銘潤德光電科技有限公司,并與*供貨商建立合作關系,為公司全面國際化運轉(zhuǎn)及操作奠定了良好開端。我們堅持品味與個性、規(guī)范與強大、敬業(yè)與專注的理念,以國際化的視野、*和高品位的產(chǎn)品、高尚的商德、高水準的服務取信于用戶,取信于市場。憑借良好的現(xiàn)代企業(yè)運行機制、“應用是驅(qū)動”和“以人為本”的發(fā)展理念,造就了一支富有激情、技術過硬的團隊,為公司的高速發(fā)展打下了堅實的基礎。北京朗銘潤德光電科技有限公司在向客戶提供產(chǎn)品的同時,向客戶提供服務;為客戶著想,與客戶共求發(fā)展,共創(chuàng)雙贏: 朗銘值得您的信賴與期待!
橢偏儀 產(chǎn)品信息
關鍵詞:電池