如圖所示,螺桿真空泵內(nèi)裝有一對平行的螺旋狀的轉(zhuǎn)子,兩個(gè)轉(zhuǎn)子的泵體內(nèi)通過一對精密齒輪保持同步反向旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵體之間又有摩擦且保持一定的間隙,兩個(gè)轉(zhuǎn)子與泵體之間形成了多個(gè)密封腔,密封腔的個(gè)數(shù)等于轉(zhuǎn)子的螺旋圈數(shù)。
兩個(gè)轉(zhuǎn)子在按圖中方向旋轉(zhuǎn)時(shí),與吸氣口相連的密封腔的空間逐漸增大,氣體被吸收并被傳送到排氣側(cè),排氣側(cè)的密封腔空間在旋轉(zhuǎn)過程中逐漸變小,氣體被壓縮到排氣口.這些密封腔有規(guī)律的從泵的進(jìn)氣口側(cè)往排氣口側(cè)"移動(dòng)",這樣氣體就以旋流的方式
運(yùn)送出去。泵的持續(xù)運(yùn)動(dòng)不改變氣體流動(dòng)方向,這樣就可以在一定范圍內(nèi)將氣體夾帶的微粒以蒸汽抽送出去。
長時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)需向泵體及側(cè)蓋的夾套內(nèi)通入適量的冷卻液以對泵進(jìn)行冷卻,以實(shí)現(xiàn)溫度的均衡,因壓縮熱主要在排氣側(cè)6,為了充分冷卻轉(zhuǎn)子,在多數(shù)情況下可以將適量的空氣或其他合適的氣體通過滲氣口導(dǎo)入泵腔內(nèi)。
機(jī)組定制
機(jī)組附件齊全,可根據(jù)客戶不同的工況提供特殊的機(jī)組配置來滿足客戶的要求。
低振動(dòng)低矂音
螺桿轉(zhuǎn)子的整體設(shè)計(jì)經(jīng)過高精度動(dòng)平衡處理,通過精密同步斜齒輪,可高速運(yùn)轉(zhuǎn),工作平穩(wěn),有效降低運(yùn)行過程中產(chǎn)生的振動(dòng)和噪音。
優(yōu)化設(shè)計(jì)
螺桿轉(zhuǎn)子采用德國五軸聯(lián)動(dòng)復(fù)合加工中心精密加工而成,與泵腔之間無金屬接觸,無磨損確保真空泵的使用壽命和真空度。
潔凈環(huán)保
與滑閥泵、旋片油泵、水環(huán)泵相比,螺桿真空泵泵腔內(nèi)只有制程氣體,可充分回收有機(jī)溶劑。
工作過程中無廢水廢油產(chǎn)生,節(jié)能環(huán)保,同時(shí)避免了水溫對真空度的影響。
制程處理能力
螺桿泵泵腔設(shè)計(jì)有自動(dòng)冷卻吹掃裝置,可抽含有微量粉塵及可凝性氣體。
防腐設(shè)計(jì)
工作腔及螺桿表面有防腐涂層,可適應(yīng)多種工況。
標(biāo)準(zhǔn)涂層:
泵體:HT300, (PTFE+PFA)轉(zhuǎn)子:QT800(PTFE + PFA)。
特殊涂層:
鍍鎳;鍍鉻;鍍鎳+PFA ;納米陶瓷;噴涂哈氏合金;不銹鋼等。
密封
進(jìn)氣端:雙聯(lián)唇封
排氣端:雙聯(lián)唇封+機(jī)械密封+氮?dú)饷芊?br> 出軸端:油封
密封圈:可選全氟謎橡膠。
適用真空范圍廣
單臺(tái)泵可連續(xù)直排大氣,從大氣抽至5pa的高真空,極大的簡化真空系統(tǒng)。
可與羅茨泵分子泵擴(kuò)散泵組成機(jī)組,滿足各種工況對真空度和抽速的要求。
技術(shù)參數(shù)