儀器特點:
稀釋氣質(zhì)量流量計可控制到0-10SLM;
源氣質(zhì)量流量計可控制到0-100SCCM;
2路校準(zhǔn)口入口和1路吹掃口;
1路稀釋氣入口,3路輸出口和1路排空口;
42個按鍵薄膜鍵盤;
8位數(shù)字輸入/輸出,1路串行輸出;
彩色大屏顯示,
性能參數(shù):
稀釋入口:1路標(biāo)準(zhǔn);
源氣入口:1路標(biāo)準(zhǔn),1路吹掃;
稀釋流量:0-10SLM(0-20SLM可選);
源氣流量:0-100SCCM(0-2SLM可選);
流量精度:<1%FS;
流量重復(fù):<±0.15%FS;
線 性:<±0.5%FS;
入口壓力:12-35PSIG;
集成輸出:3路輸出,1路放空(1路滲透端可選);
操 作:42按鍵薄膜鍵盤手動輸入或外接鍵盤;
校準(zhǔn)定義:20個工廠配置流路,每個流路可zui大20個線性點;
校準(zhǔn)類型:稀釋氣,臭氧,GPT;
氣體定義:1路稀釋氣,20路源氣;
自動校準(zhǔn):可驅(qū)動20路定時程序,用戶可自定義;
數(shù)字輸入/輸出:可使用觸點觸發(fā)或TTL邏輯控制的8位校準(zhǔn)功能;
通 訊:RS232,以太網(wǎng)TCP/IP可選;
溫 度:5-40℃;
外形尺寸:156mm(H)×364mm(W)×316 mm (D);重 量:8.6kg;
電 源:98-264VAC,100VA,50/60HZ。