艾里卡特Alicat BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器
OEM應(yīng)用中的基礎(chǔ)流量控制
對(duì)于大數(shù)額訂單,BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器,能為用戶提供可重復(fù)、可靠、經(jīng)濟(jì)的氣體流量控制方案。專為原始設(shè)備制造商(OEM)無(wú)應(yīng)力設(shè)備集成而設(shè)計(jì)的BASIS輕便靈巧、內(nèi)置高精度MEMS傳感器、并具有艾里卡特*的快速閥門控制。
可靠。BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器絕不會(huì)讓您感到失望,NIST可溯源的精度與重復(fù)性使其在工作第700天時(shí)仍像天一樣。
靈敏。您不會(huì)再因?yàn)閴毫Ψ逯刀鴼Я艘徽?。BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器具有的控制速度和閥門調(diào)節(jié),能帶給用戶的益處將遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出預(yù)期。
兼容。BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用范圍相當(dāng)廣,輕便靈巧、多氣體標(biāo)定、模擬及數(shù)字雙重通訊將為您的項(xiàng)目設(shè)計(jì)提供更大的靈活性。
艾里卡特Alicat提供*的質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。
性能
可用量程:0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm(參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽)
可調(diào)比:200:1(1/20和50 slpm)或100:1(100 sccm)
校準(zhǔn)精度(NIST可溯源):±(1.5%讀數(shù)+0.5%滿量程)
可重復(fù)性:0.5%滿量程
標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù):100ms(可利用PID調(diào)節(jié)功能調(diào)節(jié))
預(yù)熱時(shí)間:70ms,達(dá)到完整精度
工作條件
兼容氣體:空氣、氬氣、二氧化碳、氮?dú)?、氧氣、一氧化二氮(可通過(guò)串行連接選擇氣體);訂購(gòu)時(shí)還可以選擇氦氣或氫氣校準(zhǔn)(僅使用一種氣體)
工作溫度:0°C至+50°C
內(nèi)部壓力(靜態(tài)):對(duì)于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig(160 psia);對(duì)于0-20和0-50 slpm量程—60 psig(75 psia)
耐受壓力:175 psig(190 psia)
STP: 25°C & 1 atm(14.696 psia)
包裝清單
BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器(電源需另行訂購(gòu))
NIST可溯源校準(zhǔn)證書
艾里卡特操作說(shuō)明書
配件(需另行訂購(gòu))
過(guò)程端口接頭和過(guò)濾器
通訊線纜
Flow Vision軟件