設(shè)備用途：大面積電子槍蒸發(fā)光電膜、光學(xué)膜和防指紋膜。
愛科斯的IKS-OPT2700蒸發(fā)鍍膜機為實現(xiàn)大量快速生產(chǎn)大面積光學(xué)膜鍍膜和單層/多層表面改性膜而設(shè)計，本機為立式單腔體鍍膜機，是一種基于電子槍蒸發(fā)的多層光學(xué)薄膜鍍膜系統(tǒng)。本設(shè)備的主要產(chǎn)品蒸發(fā)沉積多層光學(xué)介質(zhì)膜和防指紋膜等，例如，可見光彩色膜、鋁反射膜、AF防指紋膜、低熔點有機物膜、可見光分光膜、可見光抗反射膜等，也可以為特定的簡單光學(xué)特性膜系進行調(diào)試生產(chǎn)。設(shè)備特點
1. 產(chǎn)品設(shè)計，由愛科斯技術(shù)與產(chǎn)品性能的無縫對接整合，創(chuàng)造可靠、穩(wěn) 定、安全、智能化鍍膜系統(tǒng)!
2. 真空獲得，重新優(yōu)化設(shè)計的真空獲得系統(tǒng)，滿足快捷平穩(wěn)真空環(huán)境!
3. 蒸發(fā)源和離子源，合理的布局和高品質(zhì)的加工技術(shù)，調(diào)試技術(shù)，實現(xiàn)工藝 進程自動調(diào)節(jié)，電子束創(chuàng)新結(jié)構(gòu)與精確速率保障材料沉積更精確、穩(wěn)定!
4.自動運行控制系統(tǒng)，全新開發(fā)精確穩(wěn)定系統(tǒng)!設(shè)置簡單，操作簡便!
設(shè)備簡述
IKS-OPT2700是專為大面積光學(xué)薄膜鍍膜而設(shè)計的電子束蒸發(fā)鍍膜機。鍍膜機系統(tǒng)由真空室、真空泵、真空檢測與控制、襯底加熱系統(tǒng)、電子束蒸發(fā)系統(tǒng)、離子源輔助沉積系統(tǒng)、電阻蒸發(fā)系統(tǒng)、膜厚監(jiān)測系統(tǒng)、工作氣體體積流量控制系統(tǒng)、工件旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、PLC控制的自動鍍膜等組成。
蒸發(fā)材料常用稀有金屬，如氟化釔、氟化鐠、鍺、硫化鋅、氟化鎂、、二氧化硅、氧化鋯、鈷、鎵、硒等金屬。銅、鉬、硅、鍺等金屬是反射器光學(xué)材料中常用的材料。
可涂裝可見光彩色膜、鋁反射膜、AF指紋膜、低熔點有機膜、可見光分光膜、可見光防反射膜等
設(shè)備參數(shù)
| 爐體尺寸 | Ф2700×H1670 | 工件架 | φ2650*H420mm |
| 真空度 | 極限真空:6×10-4Pa(24小時空載，不加熱) | 重量 | 8000kg,地板承重﹥1000kg/m2 |
| 漏率 | ＜4×10-3Pa×L/S(氦撿漏) | 溫度 | 室溫-250℃，溫度均勻性±5% |
| 工作真空 | 6*10-3Pa（自動工藝啟動） | 供電 | 三相電, 380V，50Hz，60-100KW |
| 低真空 | 10 分鐘＜10Pa | 水冷 | 腔體流量大于4000l/h,泵組流量大于1800l/h 冷凍機流量大于1600l/h |
| 高真空 | 6 分鐘＜8×10-3Pa | 溫水 | 蒸發(fā)源1800l/h，35-60℃ |
| 真空測量 | 全程監(jiān)控，實時取點 | 占地 | L6×w5.5×H3.5m |
| 應(yīng)用 | 眼鏡、反光鏡、手機背板、防護罩、光通訊、光學(xué)顯示等 |
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應(yīng)用
