詳細(xì)說明
- 產(chǎn)品型號(hào):SJ6000
- 產(chǎn)品名稱:SJ6000激光干涉儀
- 測量方式:單頻
- 穩(wěn)頻精度:±0.05ppm
- 測量精度:±0.5ppm(0-40)℃
- 線性測量距離:(0-80)m
- 測量分辨率:1nm
- 動(dòng)態(tài)采集頻率:50KHz
- 預(yù)熱時(shí)間:≤6分鐘
- 工作溫度范圍:(0-40)℃
- 環(huán)境溫度范圍:(0-40)℃,環(huán)境濕度:0-95%
- 主要特點(diǎn):應(yīng)用范圍廣、測量精度高、操作方便
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一、簡介
1. 產(chǎn)品簡介
激光干涉儀以光波為載體,其光波波長可以直接對(duì)米進(jìn)行定義,且可以溯源至國家標(biāo)準(zhǔn),是迄今的高精度、高靈敏度的測量儀器,在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時(shí);采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)4m/s的測量速度,以及納米級(jí)的分辨率;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語言,友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/font>
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SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
2.產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。
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其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
二.工作原理
激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會(huì)有一個(gè)探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時(shí),探測器會(huì)在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。
若光程差有變化時(shí),探測器會(huì)在每一次光程變化時(shí),在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào),這些變化會(huì)被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化。
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三. 產(chǎn)品功能特點(diǎn)
◆精度高
SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
◆功能廣
● 可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;
● 可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
● 可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn);
● 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
● 具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
● 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
◆軟件強(qiáng)
● 友好的人機(jī)界面;
● 豐富的應(yīng)用功能模塊;
● 向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/span>
● 簡潔化的記錄管理;
● 支持中文、英文和俄文界面;
● 支持企業(yè)專屬模板定制。