Teledyne HFM-D-300A/B 質量流量計和HFC-D-302A/B 質量流量控制器
HFM-D-300A/B質量流量計,流量范圍為0-5 sccm至0-25 slm
HFC-D-302A/B質量流量控制器,流量范圍0-5 sccm到0-25 slm
全金屬,快速響應,精確度高!
質量流量技術提供可靠,可重復和準確的氣體流速測量。
Teledyne HFM-D-300A / HFC-D-302A質量流量儀器的流量范圍為0-5 sccm至0-25 slm; 使用所有金屬密封件,提供模擬和數(shù)字輸出,并由不銹鋼制成。通過基于Windows的軟件界面提供簡單,用戶友好的數(shù)字通信。
數(shù)字功能中包含傳感器,閥門和溢流的自診斷功能。同樣令人感興趣的是自動調零功能,它可以檢測閥門何時關閉并自動重置零點。這些質量流量計和控制器可以存儲多達10種不同范圍和氣體的校準。另一個功能是內置累加器,用于監(jiān)控用戶設定條件下的燃氣使用情況。
±(讀數(shù)的0.5%+滿量程的0.2%)精度
應用和行業(yè)
泄漏測試
薄膜沉積
高純度氣體輸送
熱火焰噴涂
氣體混合
制藥工藝
Teledyne HFM-D-300A/B質量流量計
范圍:/t0-5 sccm到0-25 slm(N 2)
準確性:/t+(讀數(shù)的0.5%+滿量程的0.2%)
重復性:/t+ 0.15%的FS
*大工作壓力:/t500 PSIG(可選1000 PSIG)
安頓時間:/t通常<1秒
模擬I / O(標準):/t0 - 5 VDC
模擬I / O(可選):/t0 - 10 VDC,0 - 20毫安,4 - 20毫安
數(shù)字I / O(標準):/tRS-232,RS-485
模擬連接器:/t15針超小型D
數(shù)字連接器:/t雙RJ-12
電源要求:/t11 - 36 VDC 3.1瓦(*大值),單極或雙極(例如+ 15 VDC,+ 12 VDC)
接液材料:/t316L SS,鎳200,304 SS,302 SS
Teledyne HFC-D-302A/B控制器
范圍:/t0 - 5sccm至0 - 25 SLM(N 2 )
準確性:/t+ (0.5%讀數(shù)+滿刻度的0.2%)
重復性:/t+ FS的0.15%
*大工作壓力:/t500 PSIG(可選1000 PSIG)
安頓時間:/t典型值<1 - 2秒
模擬I / O(標準):/t0 - 5 VDC
模擬I / O(可選):/t0 - 10 VDC,0 - 20毫安,4 - 20毫安
數(shù)字I / O(標準):/tRS-232,RS- 485
模擬連接器:/t15針微型d
數(shù)字連接器:/t雙RJ-12
電源要求:/t11 - 36 VDC 6.7瓦特(*大),單極性或雙極性(例如 + 15 VDC, + 12 VDC)
接液材料:/t316L SS,鎳200,302 SS,304 SS,的Kalrez(閥座)