產(chǎn)品簡(jiǎn)介：GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀是一款緊湊的大氣離子表面處理噴射系統(tǒng)，主要由射頻發(fā)生器、離子束頭組成。噴射的離子束流能在較低的溫度和沒有真空條件的環(huán)境下活化和清理材料（如單晶片、光學(xué)元件、塑料等）表面雜質(zhì)，且清理速度迅速。本機(jī)是為獲得高質(zhì)量的外延薄膜或光學(xué)涂層進(jìn)行預(yù)先表面處理的合適的工具選擇。GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀具有一個(gè)樣品臺(tái)，將樣品固定在樣品臺(tái)上后可進(jìn)行X、Y、Z三個(gè)方向上一定范圍內(nèi)的連續(xù)移動(dòng)清洗，且清洗過程中離子束不會(huì)發(fā)生抖動(dòng)，清理后的樣品表面質(zhì)量均勻。
| 產(chǎn)品名稱 | GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀 |
| 產(chǎn)品型號(hào) | GSL-1100X-PJF-A |
| 主要特點(diǎn) | 1、高速清理物件表面，操作簡(jiǎn)單、安 全。 2、無需真空和腔室環(huán)境。 3、小巧實(shí)用、成本低。 4、重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊。 5、已通過CE認(rèn)證。 |
| 技術(shù)參數(shù) | 1、電源：110/220V 50Hz/60Hz <1000W 2、輸出頻率：20KHz-23KHz 3、離子束頭：圓頭10mm-12mm，矩形頭15mm-18mm 4、輸入氣壓：0.275MPa（min） 5、工作氣氛：空氣、氮?dú)?、氬氣、混合氣體，但不要使用易燃易爆氣體 6、等離子工作壓力：0.048MPa-0.068MPa 7、工作環(huán)境：溫度<42℃，濕度≤40%RH 8、工作臺(tái)：自動(dòng)控制三維工作臺(tái)，X、Y軸電動(dòng)調(diào)節(jié)，Z軸手動(dòng)調(diào)節(jié) 9、真空吸盤：Ø100mm 10、X軸行程：200mm 11、Y軸行程：100mm 12、Z軸行程：50mm |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：600mm×600mm×1250mm；重量：55kg |
