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光學(xué)輪廓儀Zeta-20

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海艾時(shí)微技術(shù)開發(fā)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/2/17 12:50:02
  • 訪問次數(shù)589
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上海艾時(shí)微技術(shù)開發(fā)有限公司是由中科院、廈門大學(xué)、華東理工大學(xué)等高校專家團(tuán)隊(duì)支持的,由多位半導(dǎo)體、科研領(lǐng)域背景的技術(shù)人員創(chuàng)立,公司秉承“專業(yè)、提升、溝通”的理念,聚焦于表面形貌及力學(xué)量測,膜厚及電性量測,缺陷及顆粒檢測和成分分析四大領(lǐng)域,立志為科研及半導(dǎo)體領(lǐng)域貢獻(xiàn)自己的力量。
Zeta-20是采用ZDot™技術(shù)和Multi-Mode光學(xué)系統(tǒng)的非接觸式表面輪廓測試系統(tǒng)。
光學(xué)輪廓儀Zeta-20 產(chǎn)品信息

一、簡介

Zeta-20臺(tái)式光學(xué)輪廓儀是非接觸式3D表面形貌測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)采用ZDot™測量技術(shù)和Multi-Mode (多模式)光學(xué)系統(tǒng),可以對(duì)各種不同的樣品進(jìn)行測量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理,以及納米至毫米級(jí)別的臺(tái)階高度。

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Zeta-20的配置靈活并易于使用,并集合了六種不同的光學(xué)量測技術(shù)。ZDot測量模式可同時(shí)采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color(真彩)無限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像。其他3D測量技術(shù)包括白光干涉測量、Nomarski干涉對(duì)比顯微鏡和剪切干涉測量。ZDot或集成寬帶反射儀都可以對(duì)薄膜厚度進(jìn)行測量。Zeta-20也是一種顯微鏡,可用于樣品復(fù)檢或自動(dòng)缺陷檢測。 Zeta-20通過提供全面的臺(tái)階高度、粗糙度和薄膜厚度的測量以及缺陷檢測功能,適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。

二、 功能

?   主要功能

臺(tái)階高度:納米到毫米級(jí)別的3D臺(tái)階高度

紋理:平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波紋度

外形:3D翹曲和形狀

應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力

薄膜厚度:30nm100μm透明薄膜厚度

缺陷檢測:捕獲大于1μm的缺陷

缺陷復(fù)檢:采用KLARF文件作為導(dǎo)航以測量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置

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?   技術(shù)特點(diǎn)

Zeta-20是采用ZDotMulti-Mode(多模式)光學(xué)器件的簡單易用的光學(xué)輪廓儀,具有廣泛的應(yīng)用:

可用于樣品復(fù)檢或缺陷檢測的高質(zhì)量顯微鏡

Z-Dot:同時(shí)采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color(真彩)無限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像

ZXI:白光干涉測量技術(shù),適用于Z向分辨率高的廣域測量

ZIC:干涉對(duì)比度,適用于亞納米級(jí)別粗糙度的表面并提供其3D定量數(shù)據(jù)

ZSI:剪切干涉測量技術(shù)提供z向高分辨率圖像

ZFT:使用集成寬帶反射計(jì)測量膜厚度和反射率

AOI:自動(dòng)光學(xué)檢測,并對(duì)樣品上的缺陷進(jìn)行量化

生產(chǎn)能力:通過測序和圖案識(shí)別實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測量

?   技術(shù)能力

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三、應(yīng)用

?   肖特玻璃-表面粗糙度

可用來測試玻璃等透明表面及不透明表面的形貌和表面粗糙度。

?   太陽能電池不同反射率表面形貌測量

輕松獲得復(fù)雜差異化反射率樣品的表面形貌。

?   MEMS器件臺(tái)階高度和粗糙度

小尺寸樣品nm級(jí)臺(tái)階精度,大尺寸樣品的亞微米臺(tái)階精度。

?   鏡頭-完整的表面輪廓

圖像拼接功能,可獲得大面積樣品的完整表面輪廓。

?   高分子薄膜-膜厚測量

可用于PIPR薄膜的厚度測量,并可生成整片晶圓上的膜厚mapping。

?   藍(lán)寶石-圖案化晶片表面缺陷

可對(duì)特定缺陷進(jìn)行三維輪廓掃描并進(jìn)行相關(guān)測量,并對(duì)晶圓表面缺陷按尺寸、亮度、長寬比等進(jìn)行分布統(tǒng)計(jì)并生成mapping。

 

四、其他

?   部分用戶

南京大學(xué)、南京郵電大學(xué)、上海交通大學(xué)、麻省理工學(xué)院

西部數(shù)據(jù)、應(yīng)用材料、博世、希捷等。


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