產(chǎn)品介紹 μscan共聚焦顯微鏡材料表面的三維輪廓測量,粗糙度測量,寬度,高度,角度,半徑、粗糙度等二維、三維數(shù)據(jù)分析。能直接測量較大面積的樣品,而不用通過拼接。 μScan的中心部件掃描模塊(x/y方向樣品掃描)可以和不同的傳感器(Z方向測量)連用,如Confocal point sensor(CF)、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light sensor(CLA)、Holographic sensor(CP)等。目前主配的是連接CF4激光共聚焦傳感器。 CF4激光共聚焦傳感器內(nèi),被照亮的小孔成像在被測量的表面,激光光束經(jīng)由物鏡迅速上下移動聚焦于待測物上,只有當(dāng)焦平面和真實表面的點配對的時候,探測器才記錄到一個表面信號。因此物鏡得通過小的垂直步位移動,使信號通過位移傳感器的位置移動被測出。根據(jù)特殊的內(nèi)插技術(shù),該系統(tǒng)的精度能達(dá)到10nm以下。 μscan激光共聚焦顯微鏡應(yīng)用 集成電路封裝和表面貼裝:快速獲得封裝翹曲變形、引線共面性、粗糙度、焊料的體積、引線輪廓。 厚膜混合電路:膜厚度的自動化測量 精密部件:測量精密五金配件、塑料、半導(dǎo)體材料的輪廓、粗糙度等 μscan激光共聚焦顯微鏡技術(shù)參數(shù) 1. 測量原理:非接觸,激光共聚焦 2. 掃描模塊: 2.1 XY方向測量范圍50X50mm/100X100mm/150X100mm/200X200mm(可選),馬達(dá)驅(qū)動 2.2 XY方向平臺分辨率0.5um 2.3 Z方向位移范圍100mm 2.4 測量速度50mm/S. 3. 傳感器模塊 3.1 共聚焦傳感器,激光光源1.5 µm spot size,1 kHz data rate 3.2 Z方向分辨率0,02um 3.3 XY方向分辨率1um,可連續(xù)一次掃描成像,范圍達(dá)到200mmX200mm 3.4 工作距離 4mm 3.5 Z方向測量范圍1mm 4 系統(tǒng)配置 4.1 計算機(jī):高性能計算機(jī)控制系統(tǒng); 4.2 配有專業(yè)工作臺, 尺寸L1000 x H750 x W800 (mm) 4.3 可為CF傳感器選配離軸攝像頭(10X),視野8 x 6 mm² 4.4 功能全面的軟件 4.5 數(shù)據(jù)分析:輪廓測量、寬度,高度,角度,半徑、粗糙度等二維、三維數(shù)據(jù)分析 |
企業(yè)簡介克拉克(中國)有限公司從事可靠性測試設(shè)備的銷售和測試服務(wù)。一、電子行業(yè)的失效分析設(shè)備銷售及測試服務(wù)芯片分析手段匯總(xray,SAT,DECAP,Bond Tester,SEM,Laser Decapsulator)1.)美國激光開蓋機(jī) 激光開封機(jī) IC開蓋 芯片開蓋 IC開蓋,時間約30秒左右,特別是銅引線封裝有很好的開封效果.(用戶長電,蘋果)2)日本UNION HISOMET顯微鏡 測量焊球、邦定線高度 Z軸測量誤差低于1微米.3)18650鋰離子電池焊檢拉力測試儀;LED內(nèi)引線鍵合拉力及芯片剪切力測試儀分辨率高達(dá)0.0001克. 金線拉力金球推力機(jī) IC金線拉力 焊點剪切力 TP 提供dage4000鉤針 dage4000推刀 dage4000校正砝碼 royce6504).SAT(超聲波掃描顯微鏡)德國,無損檢查:1.材料內(nèi)部的晶格結(jié)構(gòu),雜質(zhì)顆粒.夾雜物.沉淀物.2. 內(nèi)部裂紋. 3.分層缺陷.4.空洞,氣泡,空隙等. 產(chǎn)品內(nèi)部分層掃描。5)微焦點XRay 用途:半導(dǎo)體BGA,線路板等內(nèi)部位移的分析 ;利于判別空焊,虛焊等BGA焊接缺陷 XRAY:微焦點X射線可以穿過塑封料并對包封內(nèi)部的金屬部件成像,因此,它特別適用于評價由流動 誘導(dǎo)應(yīng)力引起的引線變形 在電路測試中,引線斷裂的結(jié)果是開路,而引線交叉或引線壓在芯片焊盤的 邊緣上或芯片的金屬布線上,則表現(xiàn)為短路。X射線分析也評估氣泡的產(chǎn)生和位置,塑封料中那些直徑 大于1毫米的大空洞,很容易探測到. ), 德國Feinfocus6)韓國電鏡SEM OSP薄膜測厚儀 二、金屬鑄件,巖石,橡膠輪胎等檢測: 工業(yè)CT,X射線實時成像系統(tǒng),X光機(jī),****機(jī)。( 工業(yè)CT高精度計算機(jī)斷層掃描系統(tǒng)鑄件密度分割容積計算空間分布 )三、 耗材: 磁粉探傷,滲透探傷 磁粉探傷:磁粉對導(dǎo)磁材料鋼,鐵,鈷,鎳等,材料表面微小裂紋的檢測。 如,發(fā)動機(jī),軸承,鋼管的表面裂紋的快速檢測。 滲透探傷包括熒光法和著色法。熒光法是將含有熒光物質(zhì)的滲透液涂敷在被探傷件表面,通過毛細(xì)作用滲入表面缺陷中,然后清洗去表面的滲透液,將缺陷中的滲透液保留下來,進(jìn)行顯象。典型的顯象方法是將均勻的白色粉末撒在被探傷件表面,將滲透液從缺陷處吸出并擴(kuò)展到表面。這時,在暗處用紫外線燈照射表面,缺陷處發(fā)出明亮的熒光。 著色法與熒光法相似,只是滲透液內(nèi)不含熒光物質(zhì),而含著色染料,使?jié)B透液鮮明可見,可在白光或日光下檢查。四、激光測振儀(進(jìn)口)位移分辨率高達(dá)0.008納米。非接觸測量物體振動的速度,加速度,位移,運(yùn)動軌跡,頻率.全場激光測振實現(xiàn)整面物體的XY軸的振動測量可以彩色動畫輸出。三維激光測振可以實現(xiàn)三軸振動測量。多點激光測振可以同時實現(xiàn)16個振動點振動并可以測量物體瞬間振動和實時的振動模擬.
德國共聚焦顯微鏡三維輪廓測量 產(chǎn)品信息