FT150
伴隨光學(xué)系的升級(jí),實(shí)現(xiàn)相比以往機(jī)型更高的靈敏度
對(duì)應(yīng)nm級(jí)Au鍍層及數(shù)十nm Pd鍍層測(cè)量效率提升2倍以上
FT150L
對(duì)應(yīng)600 mm×600 mm 大型線路板
配備防X射線泄漏的封閉結(jié)構(gòu)樣品室
FT150H
對(duì)應(yīng)微區(qū)Sn、Ag等鍍層測(cè)量
對(duì)應(yīng)陶瓷電子組件端子、Sn-Ag無(wú)鉛焊錫等
FT150配備新型聚光光學(xué)系和更高規(guī)格的Vortex檢測(cè)器,能夠得到比以往機(jī)型更高強(qiáng)度的X射線熒光。
相比以往機(jī)型(FT9500X系列),對(duì)應(yīng)微小金屬鍍層測(cè)量的效率提高2倍以上,在相同的測(cè)量時(shí)間下能夠提高其測(cè)量精度。
實(shí)現(xiàn)高精度并且高效的測(cè)量。
伴隨光學(xué)系的升級(jí),實(shí)現(xiàn)相比以往機(jī)型更高的靈敏度
對(duì)應(yīng)nm級(jí)Au鍍層及數(shù)十nm Pd鍍層測(cè)量效率提升2倍以上
FT150L
對(duì)應(yīng)600 mm×600 mm 大型線路板
配備防X射線泄漏的封閉結(jié)構(gòu)樣品室
FT150H
對(duì)應(yīng)微區(qū)Sn、Ag等鍍層測(cè)量
對(duì)應(yīng)陶瓷電子組件端子、Sn-Ag無(wú)鉛焊錫等
FT150配備新型聚光光學(xué)系和更高規(guī)格的Vortex檢測(cè)器,能夠得到比以往機(jī)型更高強(qiáng)度的X射線熒光。
相比以往機(jī)型(FT9500X系列),對(duì)應(yīng)微小金屬鍍層測(cè)量的效率提高2倍以上,在相同的測(cè)量時(shí)間下能夠提高其測(cè)量精度。
實(shí)現(xiàn)高精度并且高效的測(cè)量。
項(xiàng)目 | 描述 |
---|---|
X射線照射方向 | 上方照射式 |
上方照射式 | Al (13) ~ U(92) |
測(cè)定環(huán)境 | 大氣 |
X射線發(fā)生部 | 45kV, 鉬Mo 靶材 |
設(shè)計(jì) | 毛細(xì)管聚焦Poly-capillary |
管電流 | 1000μA 可變 |
X射線檢測(cè)部 | Silicon Drift Detector (SDD) |
測(cè)定面積 | φ0.030mm(FWHM 0.017mm) |
樣品面積 | 長(zhǎng)400mm、寬300mm、高200mm |
電動(dòng)XY樣品臺(tái)驅(qū)動(dòng) 移動(dòng)范圍 | 400×300mm |
CCD Camera | 1百萬(wàn)相數(shù) |
對(duì)焦模式 | 雷射自動(dòng)對(duì)焦 |
測(cè)量模式 | Thin Film FP (5層, 10元素)/檢量線法 |
選配 | FT150H : 鎢W target FT150L : 鉬Mo target |