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AE質(zhì)量流量控制器

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱深圳市利方達(dá)科技有限公司
品牌
型號(hào)7700 7800
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2023/2/23 17:23:58
訪問次數(shù)181

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

深圳市利方達(dá)科技有限公司由留德博士錢鋒創(chuàng)建于2002年,是一家集真空產(chǎn)品研發(fā),生產(chǎn)及貿(mào)易以及維修服務(wù)為一體的企業(yè)集團(tuán) ,公司目前集中了一批多年從事真空和真空鍍膜專業(yè)的技術(shù)人員和經(jīng)驗(yàn)豐富的市場(chǎng)銷售人員,力致于為客戶提供更優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)。主要業(yè)務(wù)包括代理銷售國(guó)外產(chǎn)品:美國(guó)英福康（Inficon）的石英晶體膜厚控制儀，氦質(zhì)譜檢漏儀，四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀，各種真空計(jì)，真空閥門；美國(guó)Brooks的低溫泵，真空計(jì)；日本日立公司的質(zhì)量流量計(jì)（原美國(guó)AE公司的FC7700CD系列流量計(jì)），日本Horiba的質(zhì)量流量計(jì)，美國(guó)安捷倫Agilent（原瓦里安）公司的英國(guó)愛德華公司分子泵,機(jī)械泵,干泵,真空計(jì),檢漏儀,各種真空閥門和檢漏系統(tǒng); 美國(guó)泰利瑪科公司(Telemark)的電子槍和光學(xué)膜厚控制儀等;美國(guó)安斯超科學(xué)公司(Angstrom)的磁控濺射陰極,濺射靶材；美國(guó)薄膜中心（Thin film center）的核心麥克勞德(Essential Macleod)光學(xué)薄膜分析與設(shè)計(jì)的軟件，美國(guó)Extorr公司的四極質(zhì)譜等產(chǎn)品。　

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

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AE質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品信息

美國(guó)AE公司 質(zhì)量流量計(jì)（FC-7700系列）

優(yōu)點(diǎn)：高性價(jià)比

響應(yīng)速度快：小于2秒

的可靠性：使用一年以上，零點(diǎn)漂移小于滿量程的0.5%

易于集成：標(biāo)準(zhǔn)接頭和尺寸

出眾的效果：高品質(zhì)膜層與蝕刻特性

特性

非金屬密封

VCR連接

量程范圍從10SCCM到150SLM

常閉或常開式電磁閥

允許清洗流量：高達(dá)校準(zhǔn)值的100倍

漏率1×10^-6 atm-cc/秒(氦)

型號(hào)參數(shù)：

類別	FC-7700、7700C、7700CD、7700CU	FC-7710、7710C、7710CD、7710CU	FC-7720、7720C、7720CD
滿量程范圍	10sccm到5slm	6到20slm	35到150slm
		20到50slm
響應(yīng)時(shí)間	到達(dá)設(shè)定點(diǎn)±2%所需時(shí)間<2秒		到達(dá)設(shè)定點(diǎn)±2%所需時(shí)間<3秒
精度	滿量程±1%范圍內(nèi)	滿量程±2%范圍內(nèi)
線性度	滿量程±0.5%范圍內(nèi)	滿量程±0.5%范圍內(nèi)	滿量程±1%范圍內(nèi)
		滿量程±1%范圍內(nèi)
重復(fù)精度	滿量程±0.2%范圍內(nèi)
漏率	值1×10^-6atm-cc/秒(氦)
控制范圍	滿量程的5到99%
壓差	7至40 psi	10至40 psi(517至2069托)	21至40 psi(1086至2069托)
	(362至2069托)	14至40 psi(724至2069托)
正常工作壓力	50 psi(2586托)
入口壓力	值150 psi(7740托)
溫度范圍	5至45℃