HS-NIR-SiRod單晶硅芯長棒紅外探傷測試儀
產(chǎn)品介紹
HS-NIR-SiRod單晶硅芯長棒紅外探傷測試儀是專門用于硅芯硅棒生產(chǎn)中的硅棒硅芯內(nèi)部的的裂縫、雜質(zhì)、黑點、陰影、微晶等缺陷探傷的儀器,可大幅提高硅芯生產(chǎn)過程中的效率和效益。
主要原理是:在特定光源和紅外探測器的協(xié)助下,我們的紅外探傷測試儀能夠穿透200mm深度的硅棒,純硅料幾乎不吸收這個波段的波長,但是如果硅塊里面有微粒、夾雜(通常為SiC)、隱裂,則這些雜質(zhì)將吸收紅外光,因此在成像系統(tǒng)中將呈現(xiàn)出來,而且這些圖像將通過我們的軟件自動生成三維模型圖像。
系統(tǒng)的基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)由相同的輥動單元構(gòu)成。輥子裝置安全地固定鋼錠,并充當(dāng)兩側(cè)軌道的基礎(chǔ)結(jié)構(gòu),單晶硅芯長棒沿滾動支撐結(jié)構(gòu)鋪設(shè)。紅外測量單元在單晶長棒上方移動,同時旋轉(zhuǎn)單晶長棒。紅外測量是掃描式的,在固定電橋位置360度旋轉(zhuǎn)期間拍攝的圖像。測量單元移動到下一個測量位置,對于圓柱形物體,這種測量策略給出了最準(zhǔn)確的結(jié)果。
通常我們都是在硅棒線切割硅芯前進(jìn)行紅外探傷,在線切割前進(jìn)行紅外探傷不僅可以減少不合格硅芯,而且可以減少斷線,大大提高效益,這些夾雜都可以清晰地反映在我們的紅外探傷系統(tǒng)中。因此它是單晶硅芯生產(chǎn)中的工具。
產(chǎn)品特點
■ 為硅芯勝場過程中的質(zhì)量控制提供了強大的監(jiān)測工具
■ 測量單元可以沿著在軌道上滾動單晶硅芯長棒上移動
■ 檢測速度快,平均每個長超3米以上的硅棒檢測時間為不超過6分鐘(不含裝卸時間)
■ NIRVision®軟件能夠分析探傷結(jié)果,并且直接將結(jié)果轉(zhuǎn)換成三維模型圖像
■ 的加強型內(nèi)插法為高分辨率的雜質(zhì)探傷功能提供了強大的技術(shù)保障
■ 采用歐洲數(shù)控工程鋁合金材料
■ 表面都采用了高強度漆面和電氧化工藝保護(hù)
■ 系統(tǒng)外框采用高質(zhì)量工業(yè)設(shè)計
■ 所有的部件的設(shè)計都達(dá)到了長期高強度使用及最小維護(hù)量的要求
■ 能夠通過自動或手動旋轉(zhuǎn)對單晶長棒進(jìn)行全面探傷。
■ 紅外光源通過交直流光源進(jìn)行控制,光強可以通過軟件直接控制,同時它具有過熱保護(hù)功能
■ 同時軟件包含了雜質(zhì)圖像的管理分析功能
■ 穩(wěn)定性和耐用性俱佳。
■ 探傷測試面拋光處理,推薦在線硅芯切割之前進(jìn)行紅外探傷
■ 紅外成像光源受電阻率影響,硅塊電阻率越低,則對紅外光的吸收越多
■ 一般電阻率不能低于0.5Ohm*Cm,我們推薦的電阻率在0.8Ohm*Cm以上
■ 系統(tǒng)的基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)由相同的輥動單元構(gòu)成。輥子裝置安全地固定鋼錠,并充當(dāng)兩側(cè)軌道的基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)
■ 單晶硅芯長棒沿滾動支撐結(jié)構(gòu)鋪設(shè)。
■ 紅外測量單元在單晶長棒上方移動,同時旋轉(zhuǎn)單晶長棒。
■ 紅外測量是掃描式的,在固定電橋位置360度旋轉(zhuǎn)期間拍攝的圖像。
■ 測量單元移動到下一個測量位置,對于圓柱形物體,這種測量策略給出了最準(zhǔn)確的結(jié)果。
技術(shù)指標(biāo):
■ 主要探測指標(biāo):直徑200mm x 長度3500mm(可定制)隱裂,硬質(zhì)點等
■ 硅塊電阻率:≥0.8Ohm*Cm
■ 檢測時間:平均每個硅棒6分鐘(不含裝卸時間)
ü 一次掃描的表面為630mm(周長)x 200mm(攝像機(jī)視野)。
ü 全長350cm,可在17個位置捕獲(尾部,頭部消除)
ü 可在20秒內(nèi)獲得一次360度旋轉(zhuǎn)捕獲。完整測量時間可保持在6分鐘左右,不包括加載和卸載過程。
■ 探測深度:200mm
■外框和箱體
■ 尺寸:450x83x55 (WxDxH-,依據(jù)定制進(jìn)行尺寸調(diào)整)
■ 外框采用數(shù)控工程鋁合金
■ 外框是覆蓋靜電強力漆鋁面板
■ 主機(jī)重量:400 kg
■ 附件重量:25 kg
■ 旋轉(zhuǎn)
■ 采用單軸伺服電機(jī)
■ 承載量:350kg
■ 具有過流保護(hù)以防止損傷和電機(jī)燒毀
■ 無步進(jìn)損失,高分辨率解碼機(jī)器
■ 紅外光源
■ 高強度NIR鹵燈,273mm加熱波長
■ 功率:230V,1000W
■ 溫度:25-60攝氏度,盒子通風(fēng),以保持里面的安全溫度。
■ 光強可通過軟件控制
■ 軟件具有過熱保護(hù)
■ 紅外燈單元具有高功率、長壽命的聚焦光源。
■ 在光窗處也使用了濾光片。
■ 觀測儀
■ 采用紅外CCD控溫
■ 12位ADC
■ 頻率:60Hz和100Hz兩個選擇
■ 像素間距: 30μm
■ 分辨率:: 320x256 像素
■ 可手動調(diào)節(jié)紅外鏡頭
典型用戶
江西塞維LDK、申和熱磁、中美晶、旭晶能源科技、達(dá)能科技等
北京合能陽光新能源技術(shù)有限公司(以下簡稱“合能陽光”)總部位于北京通州工業(yè)開發(fā)區(qū),公司主導(dǎo)產(chǎn)品涉及半導(dǎo)體及光伏行業(yè)的檢測儀器、工藝和耗材領(lǐng)域,是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)及對外投資于一體的綜合性高科技公司。
公司所服務(wù)的客戶來自于國內(nèi)企業(yè),如賽維LDK、保利協(xié)鑫、比亞迪、中電集團(tuán)、億晶光電、旭陽雷迪、錦州陽光、Ferro申和熱磁、國泰半導(dǎo)體、晶鑫科技、湖北晶星、大全新能源、新疆新能源、晶龍集團(tuán)、Pro-Q、光為、國電集團(tuán)、京運通、七星華創(chuàng)、新天源、超日、*、中國表面物理與化學(xué)研究、成都光電、包頭山晟……等幾百家半導(dǎo)體和太陽能單位。
公司現(xiàn)有員工34人,大專本科以上學(xué)歷25人,研究生6人,博士1人,建筑面積3000m2。
近年來,公司的海外市場發(fā)展勢頭良好,產(chǎn)品出口到美國、歐洲、韓國、新加坡等國家地區(qū),目前公司在和海外同行建立產(chǎn)品加工合作關(guān)系的同時還建立自己的代理商和銷售中心。
檢測儀器和產(chǎn)業(yè)耗材
HS-NIR-SiRod單晶硅芯長棒紅外探傷測試儀 產(chǎn)品信息
關(guān)鍵詞:伺服電機(jī)