HS-phys-SimPLe半導(dǎo)體晶片內(nèi)部缺陷檢測系統(tǒng)
產(chǎn)品介紹
HS-phys-SimPLe半導(dǎo)體晶片內(nèi)部缺陷檢測系統(tǒng)是專門用于包括單晶硅、碳化硅、藍(lán)寶石等半導(dǎo)體晶片及晶環(huán)生產(chǎn)過程中以的分辨率探測晶片和晶環(huán)的內(nèi)部滑移線、內(nèi)部隱裂等內(nèi)部缺陷檢測的儀器
檢測原理是：HS-Phys-SimPLe系統(tǒng)是一種高分辨率光致發(fā)光（PL）掃描映射系統(tǒng)，用于表征直徑高達(dá)400mm的半導(dǎo)體晶片。使用專門設(shè)計(jì)的高強(qiáng)度激光源來激發(fā)半導(dǎo)體材料中的少子載流子。
三種類型復(fù)合載體：SRH（Shockley-Read-Hall）深能級復(fù)合，Auger俄歇復(fù)合和Radiative輻射復(fù)合。在較低注入水平下，Auger俄歇復(fù)合可以忽略不計(jì)，因此“清潔”區(qū)域由輻射控制，而污染區(qū)域主要由SRH深能級復(fù)合控制。由于結(jié)晶滑移缺陷就像溶解污染的吸雜點(diǎn)，具有較低的輻射發(fā)射。因此可以通過PL技術(shù)將其可視化。
產(chǎn)品特點(diǎn)
■ 直徑達(dá)400mm、厚度達(dá)30mm的晶片檢查
■ 60µm分辨率下的滑移線檢測
■ 更多波長可供選擇
■ 檢測速度：12英寸-13分鐘，8英寸-5分鐘
■ 利用優(yōu)化的波長和過濾進(jìn)行PL滑移線檢查，可以發(fā)現(xiàn)制程中尚未發(fā)現(xiàn)的問題
■ 顯示更小的滑移線等內(nèi)部缺陷。
■ 自動(dòng)晶圓探測器
■ 自動(dòng)參數(shù)設(shè)置
■ 即使在低信號采樣上也具有高分辨率和高對比度
技術(shù)指標(biāo)：
■ 主要探測：半導(dǎo)體級硅晶片/環(huán)，光伏硅片，碳化硅晶片，藍(lán)寶石晶片等半導(dǎo)體晶片/環(huán)
■ 檢測時(shí)間：
■cca.5分鐘/8英寸晶圓
■cca.13分鐘/12英寸晶圓
■成像系統(tǒng)：
■0.4mm分辨率的近紅外InGaAs探測器
■高靈敏度溫控FPA
■激光系統(tǒng)：
■1級高功率近紅外激光系統(tǒng)
■外殼上有冗余聯(lián)鎖
■警示燈
■軟件聯(lián)鎖
■TEC溫度穩(wěn)定，采用閉路水冷卻
■滿功率時(shí)溫度穩(wěn)定性在2攝氏度以內(nèi)
■激光控制：電腦控制電源，帶有集成PID溫度控制器。
■參考系統(tǒng)的少子壽命精度：<5%（若校準(zhǔn)）
■重復(fù)性：<5%
■機(jī)器對機(jī)器系數(shù):校準(zhǔn)后<3%
■ 尺寸：1800[H]x 1100[W]x 1100[D]mm
■ 重量：270kg
■合規(guī)：CE、RoH
典型用戶
聯(lián)電、綠能科技、臺(tái)積電等半導(dǎo)體
北京合能陽光新能源技術(shù)有限公司（以下簡稱“合能陽光”）總部位于北京通州工業(yè)開發(fā)區(qū)，公司主導(dǎo)產(chǎn)品涉及半導(dǎo)體及光伏行業(yè)的檢測儀器、工藝和耗材領(lǐng)域，是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)及對外投資于一體的綜合性高科技公司。
公司所服務(wù)的客戶來自于國內(nèi)企業(yè)，如賽維LDK、保利協(xié)鑫、比亞迪、中電集團(tuán)、億晶光電、旭陽雷迪、錦州陽光、Ferro申和熱磁、國泰半導(dǎo)體、晶鑫科技、湖北晶星、大全新能源、新疆新能源、晶龍集團(tuán)、Pro-Q、光為、國電集團(tuán)、京運(yùn)通、七星華創(chuàng)、新天源、超日、*、中國表面物理與化學(xué)研究、成都光電、包頭山晟……等幾百家半導(dǎo)體和太陽能單位。
公司現(xiàn)有員工34人，大專本科以上學(xué)歷25人，研究生６人，博士１人，建筑面積3000m２。
近年來，公司的海外市場發(fā)展勢頭良好，產(chǎn)品出口到美國、歐洲、韓國、新加坡等國家地區(qū)，目前公司在和海外同行建立產(chǎn)品加工合作關(guān)系的同時(shí)還建立自己的代理商和銷售中心。
檢測儀器和產(chǎn)業(yè)耗材
HS-phys-SimPLe半導(dǎo)體晶片內(nèi)部缺陷檢測系統(tǒng) 產(chǎn)品信息
關(guān)鍵詞：溫度控制器
