產品介紹
型號 | TS-SY05 |
外形尺寸 | 600(W)×420(D)×320(H)mm |
腔體尺寸 | 直徑160*240mm |
腔體材質 | 石英玻璃 |
射頻電源 | 13.56MHz |
控制方式 | 人機界面 |
電源 | 220V/50Hz |
真空泵 | 油泵/干泵(選配) |
氣體通道 | 2路工作氣體 |
氣體流量 | 100-1000ml/s |
冷卻方式 | 風冷 |
產品特點
1、溫度低,確保對樣品表面沒有造成熱影響;
2、高密度等離子體,確保處理效果均勻;
3、自主研發(fā)軟件系統(tǒng),操作簡單易維護;
4、清洗各種復雜形狀的產品;
產品應用
材料科學、高分子科學、生物醫(yī)藥材料學、微流體研究、微電子機械系統(tǒng)研究、光學、顯微術、牙科醫(yī)療等領域中的污染物清除、表面活化、粘合前處理、表面化學改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。
該產品能處理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金屬半導體、陶瓷、復合材料、高分子聚合物等材料,并對所處理的材料表面帶來表面超潔凈、殺菌、提高濕潤性轉變、表面性質改變、提高結合力等處理效果。