Lumentum Q 系列激光器用于各種高精度微加工應(yīng)用的高功率 Q 開關(guān)二極管泵浦紫外和綠光激光器市場。無論是對(duì)陶瓷等材料進(jìn)行高脈沖能量處理、對(duì)藍(lán)寶石或硅等材料進(jìn)行高重復(fù)率處理,還是對(duì)薄膜太陽能電池進(jìn)行圖案化,Q 系列激光器都能提供高性能和正常運(yùn)行時(shí)間。
- 高的商用脈沖能量和峰值功率
- 由于的腔內(nèi)諧波產(chǎn)生實(shí)現(xiàn)了能量穩(wěn)定性,因此更嚴(yán)格的過程控制
- 由于脈沖能量、脈沖寬度和重復(fù)頻率的選擇范圍廣,因此能夠處理廣泛的材料
- 由于諧波晶體中的低能量密度和暴露于紫外線的無腔光學(xué)涂層,可靠性高
- 提供 355 和 532 nm 輸出
- 可根據(jù)要求定制
Q-PS-1000R:標(biāo)準(zhǔn)電源
Q-PS-A30R:3 米柔性臍帶電纜
Q-PS-A50R:5 米柔性臍帶電纜
Q-PS-A70R:7 米柔性臍帶電纜
Q-PS-A100R:10 米柔性臍帶電纜
QA-CH:標(biāo)準(zhǔn) 110 VAC
QA-CH-E:歐洲 220 VAC
QA-CH-A11:一對(duì) 3 m 軟管,直/直接頭
QA-CH-A12:一對(duì) 5 m 軟管,直/直接頭
QA-CH-A21:一對(duì) 3 m 軟管,直角/直型接頭
QA-CH-A22:一對(duì) 5 m 軟管,直角/直型接頭
QA-CH-A31:一對(duì) 3 m 軟管,直角/直角接頭
QA-CH-A32:一對(duì) 5 m 軟管,直角/直角接頭
波長:355 納米
極化:>100:1
空間模式 TEM00
M-平方:<1.2
腰部位置(內(nèi)部,從光束出口):42±0.4 cm
腰部直徑 1/e:0.26 mm 標(biāo)稱
光束圓度:>85% 圓形
光束發(fā)散角,全角:1.8±0.35 mrad
(Q304-HD-1000R:2.0±0.35 mrad)
光束指向漂移,全角:<10 μrad/°C
指向漂移,超過 8 小時(shí),全角度:2 <50 μrad
光束位置精度,單位到單位:從標(biāo)稱<2.5 mm
光束指向精度,單位到單位:從標(biāo)稱<1°
控制器重復(fù)率
內(nèi)部觸發(fā):1 kHz 至 250 kHz
外部觸發(fā):0 至 250 kHz
8 小時(shí)內(nèi)的功率漂移: <±2%
熱身時(shí)間
從冷啟動(dòng):<20 分鐘
從待機(jī):<10 分鐘
工作環(huán)境溫度:15 至 35°C
相對(duì)濕度,非冷凝:10 至 80%
重量:14.5 公斤
晶圓劃線
全切割晶圓切割
低k介電開槽
硅、藍(lán)寶石、陶瓷和金屬的微加工
微孔鉆孔
PCB和柔性板切割