透射樣品桿預(yù)抽存儲(chǔ)系統(tǒng)(T-staion)由內(nèi)置進(jìn)口分子泵組、樣品桿預(yù)抽室及觸摸顯示屏組成。適用于各品牌,保證樣品桿長(zhǎng)期處于高真空狀態(tài),減少進(jìn)樣預(yù)抽時(shí)間??缮?jí)等離子清洗功能,實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品桿或MEMS芯片的清洗。
性能指標(biāo)
兼容各廠家樣品桿
分子泵組:ISO/CF63 84L/sec
極限真空:5 X10-5 Pa
插桿位:4個(gè)桿位,可獨(dú)立放氣。
觸摸屏:實(shí)施顯示預(yù)抽室真空度,一鍵開關(guān)。
可升級(jí)等離子清洗功能(需提前預(yù)留接口)
以上就是小編對(duì)PicoFemto透射電子顯微鏡樣品桿預(yù)抽存儲(chǔ)系統(tǒng)的介紹。
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