主要特點:
l 支持氣體、液體同時配氣以及混合配氣;
l 流量控制采用閉環(huán)模糊控制技術,響應速度快,流量控制準確;
l 零氣壓力和鋼瓶氣壓力可實時監(jiān)測,保證供氣壓力滿足儀器要求;
l 大屏幕液晶屏幕、中文顯示,操作簡單方便;
l 多路標氣輸入接口,免除更換多種鋼瓶氣的繁瑣工作;
l 可氣體加濕;
監(jiān)測參數:
流量準確度 | ±1%F.S |
流量線性度 | ±0.5%F.S |
流量重復精度 | ±0.2%F.S |
稀釋氣體流量范圍 | 0~20SLM;0~10SCCM; 0~500SCCM 可根據需求選擇 |
稀釋比 | 200:1 |
配比 | 400:1 |
輸入壓力 | 100Kpa~500Kpa |
顯示方式 | 800×480液晶7寸觸摸屏 |
環(huán)境溫度 | 5℃~+40℃ |
環(huán)境濕度 | <85%RH(無冷凝) |
設備耐壓 | <1Mpa |
工作壓差范圍 | 0.05Mpa~0.3Mpa |
工作電源 | 220VAC, 50±0.5Hz |
氣液混合動態(tài)配氣系統(tǒng) 質量流量控制器
氣液混合動態(tài)配氣系統(tǒng) 質量流量控制器