半導(dǎo)體超純水介紹
隨著半導(dǎo)體工業(yè)的不斷發(fā)展，對(duì)清潔水的電導(dǎo)率、離子含量、TOC、do和顆粒物的要求越來(lái)越嚴(yán)格。由于超純水在許多指標(biāo)上對(duì)半導(dǎo)體的要求很高，因此半導(dǎo)體行業(yè)的超純水與其他行業(yè)的用水要求不同。半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)超純水有嚴(yán)格的水質(zhì)要求。目前，半導(dǎo)體所用的超純水需要達(dá)到的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)為:我國(guó)電子工業(yè)部電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)(18MQ.cm、15MO.cm、10MO.cm、2M.O.cm、0.5M.O.cm五級(jí)標(biāo)準(zhǔn))，我國(guó)電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)，國(guó)內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)等。
那么，如何產(chǎn)出高質(zhì)量的半導(dǎo)體超純水?
建議采用“兩級(jí)RO+EDl+精混床除鹽水處理工藝”這類(lèi)的超純水設(shè)備，可保證處理后的水電阻和電電阻達(dá)到18MO.cm以上。除了采用以上工藝外，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)也需要相對(duì)緊湊，這樣一來(lái)占地面積小可為企業(yè)節(jié)省大量建設(shè)空間。這種半導(dǎo)體超純水設(shè)備出廠前都是需進(jìn)行壓力測(cè)驗(yàn)的，所以出現(xiàn)故障概率小。還可以配備反滲透預(yù)脫鹽技術(shù)，再次從根本上確保了水處理設(shè)備的出水質(zhì)量。
電子級(jí)水UV-TOC控制系統(tǒng)
半導(dǎo)體超純水介紹產(chǎn)品規(guī)格：
| 處理水量 | 2~60m3/h |
| 燈管配置 | 12~48支 |
| 燈管類(lèi)型 | 85w/155w(185/254nm雙波段) |
| 石英套管 | T＞80%@185nm |
| 鎮(zhèn)流器 | 50~100%輸出功率可調(diào) |
| 反應(yīng)器材質(zhì) | 316L |
| 潔凈等級(jí) | 內(nèi)外電解拋光、表面光潔度10以上（≤Ra0.2） |
| 法蘭尺寸 | DN50~DN200 |
| 額定壓力 | PN10 |
| 控制柜等級(jí) | IP55，碳鋼噴塑 |
| 控制系統(tǒng) | 本地/遠(yuǎn)程、觸摸屏、連接SCADA系統(tǒng) |
| UV強(qiáng)度傳感器 | 分辨率0.01mw/cm2 |
集成電路超純水應(yīng)用領(lǐng)域：
1. 半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路板
2. 電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗
3. 電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液
4. 黑白顯像管熒光屏的生產(chǎn)、波殼清洗、沉淀、洗膜、管頸清洗
5. 液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面清洗
6. 集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片
7. LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏的生產(chǎn)
