等離子體表面處理儀是通過利用對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子狀態(tài)，利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等的目的。
NE-PE13F等離子體表面處理儀產(chǎn)品參數(shù)：
| 型號(hào) | NE-PE13F等離子體表面處理儀 |
| 等離子體發(fā)生器頻率 | 13.56MHz |
| 腔體材質(zhì) | 316不銹鋼 |
| 功率 | 0-300W可調(diào) |
| 腔體容積 | 240(W)*280(D)*200(H)mm; 13.5L |
| 腔體有效處理面積 | 205（W）×205（D）mm |
| 絕緣陶瓷 | 進(jìn)口高頻陶瓷 |
| 氣路數(shù)量 | 配置2路工藝氣路，可支持氧氣，氬氣，氮?dú)?，氫氣?/span> |
| 控制系統(tǒng) | 4.3寸觸摸屏+PLC |
| 外形尺寸 | 600mm(L)×550mm(W) ×580 mm(H) |
等離子體表面處理儀產(chǎn)品特點(diǎn)：
?耐用的高品質(zhì)不銹鋼結(jié)構(gòu)和固定裝置
?不銹鋼托盤設(shè)計(jì)，可調(diào)節(jié)托盤間距
?8K鏡面不銹鋼腔體，密封性
?13.56射頻等離子發(fā)生器，產(chǎn)生高密度等高子體，確保出眾的清洗效果；
?直觀的觸摸屏，過程參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)控。
?方便的定期校準(zhǔn)設(shè)備連接驗(yàn)證過程中使用的要求
?支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體
?通過聯(lián)鎖門或可移動(dòng)的板
?兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的浮子針閥流量控制器，氣體控制
等離子體表面處理儀產(chǎn)品應(yīng)用：
邦定板的清潔：改善打線效果
改善塑膠材料的膠接性能
改善生物活 性分子對(duì)細(xì)胞培養(yǎng)平臺(tái)的選擇性粘合
ITO 面板的清潔活化
光刻膠的去除
芯片封裝：引線焊 盤的清潔、倒裝芯片底部填充、改善封膠的粘合效果
除去表面有機(jī)和無機(jī)污染物。例如：陶瓷、金屬引腳框架和有機(jī)襯底上的氧化鋁等。
等離子體表面處理儀對(duì)材料表面改性，改變了材料表面的微觀結(jié)構(gòu)與材料表面化學(xué)成分，包括材料的表面化學(xué)成分、潤(rùn)濕性、表面微觀結(jié)構(gòu)等，達(dá)到使材料表面改性的目的。經(jīng)過低溫等離子體改性后的材料表面化學(xué)成分發(fā)生變化，在材料表面引入了新的化學(xué)元素與化學(xué)活性官能團(tuán)；材料表面潤(rùn)濕性發(fā)生變化，親水性或疏水性增加；材料表面微觀形貌發(fā)生變化，通常材料表面粗糙度增加。
