日本JEOL 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡特性
JSM-IT800 整合了我們用于從高分辨率成像到快速元素分析的“浸沒(méi)式肖特基 Plus 場(chǎng)發(fā)射電子槍"、創(chuàng)新的電子光學(xué)控制系統(tǒng)“Neo Engine"以及無(wú)縫 GUI 系統(tǒng)“SEM Center",該系統(tǒng)采用一體化 JEOL X 射線能量色散譜儀 (EDS) 作為通用平臺(tái),進(jìn)行快速元素分析。
JSM-IT800 允許物鏡作為一個(gè)更換模塊,提供不同的版本以滿足各種用戶需求。JSM-IT800 有五種版本,提供不同的物鏡:混合型物鏡 (HL),這是一種通用 FE-SEM;超級(jí)混合物鏡(SHL/SHLs,具有不同功能的兩種版本),可實(shí)現(xiàn)更高分辨率的觀察和分析;以及新開發(fā)的半浸沒(méi)式物鏡(i/is,具有不同功能的版本),適用于納米材料、化學(xué)、新材料、半導(dǎo)體器件的觀察和分析。
此外,JSM-IT800 還可以配備新型閃爍體背散射電子探測(cè)器 (SBED) 和多功能背散射電子探測(cè)器 (VBED)。SBED 支持以高響應(yīng)性獲取圖像,即使在低加速電壓下也能產(chǎn)生清晰的成分襯度,而 VBED 可以幫助獲取 3D、形貌和成分襯度的圖像。因此,JSM-IT800 可以幫助用戶獲取豐富多樣德 信息并解決測(cè)量中的問(wèn)題。
日本JEOL 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡