用途一覽表
待測藥液 | 適用藥液類別 |
---|---|
各種清洗液 | SC-1,SC-2,SPM,IPA, 稀薄SC-2 |
浸蝕液 | HF,H3PO4,BHF,HF-HNO3, HF-HNO3-CH3COOH HF-HNO-Si,HF-HNO3-CH3COOH-Si |
CMP液 | CMP中H2O2,CMT中BTA |
液晶浸蝕液 | H3PO4-HNO3-CH3COOH, 銅-H2O2-酸 |
高濃度堿液 | NaOH,KOH,KOH-活性劑 |
有機剝離液 | MEA-BDG-水分-抗蝕劑 |
臭氧處理液 | HF-臭氧,H2SO4-臭氧 |
類別一覽表
利用形式 | 適用產(chǎn)品名稱 |
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聯(lián)機型 | ChemicAlyzer ACEⅡ (超高性能型) ChemicAlyzer Pro-2?。藴市停? |
脫機手推車型 | ChemicAlyzerⅡ |
多槽測定控制型 | ChemicAlyzer WORKS |
混合型 | ChemicAlyzer HB-20-A |
基本規(guī)格
項目 | ACEⅡ | Pro-2 | ChemicAlyzerⅡ | WORKS | HB-20 |
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基本構(gòu)成 | 測定部分? 數(shù)據(jù)處理部分 | 一體型 | 測定部? 平板電腦架 | 測定部? 數(shù)據(jù)處理部分 | |
顯示 | 7波段顯示器 | LCD | 7波段顯示器 | ||
按鍵操作 | 有 | 觸控面板 | 有 | ||
外部輸入輸出 | PI/O、串行輸出、模擬輸出 | 選項 | PI/O、串行輸出、模擬輸出 | ||
特點 | 高性能 | 標準性能 | 多條檢量線 | 多槽測定控制 | 混合型高性能 |
其他 | 內(nèi)置閥門 | 內(nèi)置泵和閥門 | 內(nèi)置泵和閥門 | 內(nèi)置閥門 |
Chemicalyzer系列根據(jù)利用場景和待測藥液,匯集了豐富齊全的產(chǎn)品種類
聯(lián)機型
可以對制造半導(dǎo)體和液晶電視中經(jīng)常使用的清洗液和浸蝕液進行高精度高速測定。
ChemicAlyzer ACEII (超高性能型)增添了很多新技術(shù),與本公司以往的機型相比,精度更上一層樓。*適合用于要求更高上等測定精度的場合。 |
ChemicAlyzer Pro-2?。藴市停?雖然采用了數(shù)據(jù)處理部分與測定部分合為一體的小型化設(shè)計,但是也具有鍵盤和顯示功能。 |
待測藥液 | 適用藥液類別 |
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各種清洗液 | SC-1,SC-2,SPM,IPA |
浸蝕液 | HF,H3PO4,BHF,HF-HNO3, HF-HNO3-CH3COOH |
CMP液 | CMP中H2O2,CMT中BTA |
液晶浸蝕液 | H3PO4-HNO3-CH3COOH |
脫機手推車型
ChemicAlyzerII*適合于由脫機測定各種處理工序的藥液濃度變化的場合。除了心臟部分的Chemicalyzer之外,還內(nèi)置了泵、閥門,因此,可以只需將管子插入槽內(nèi)即可測定。此外,1臺設(shè)備還可以測定多種藥液。 |
待測藥液 | 適用藥液類別 |
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各種清洗液 | SC-1,SC-2,SPM,IPA |
浸蝕液 | HF,H3PO4,BHF,HF-HNO3, HF-HNO3-CH3COOH |
液晶浸蝕液 | H3PO4-HNO3-CH3COOH |
高濃度堿液 | NaOH,KOH,KOH-活性劑 |
多槽測定控制型
ChemicAlyzer WORKS 1臺設(shè)備可以連續(xù)、間歇地測定多個槽里的藥液濃度。 |
待測藥液 | 適用藥液類別 |
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各種清洗液 | SC-1,SC-2,SPM,IPA |
浸蝕液 | HF,H3PO4,BHF,HF-HNO3, HF-HNO3-CH3COOH |
有機剝離液 | MEA-BDG-水分-抗蝕劑 |
液晶浸蝕液 | H3PO4-HNO3-CH3COOH |
高濃度堿液 | NaOH,KOH,KOH-活性劑 |
混合型
ChemicAlyzer HB-20-A 可以用1臺設(shè)備進行紅外光加可見光、紅外光加紫外光的組合測定。 |
待測藥液 | 適用藥液類別 |
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各種清洗液 | 希薄SC-2 |
浸蝕液 | HF-HNO-Si,,HF-HNO3-CH3COOH-Si |
液晶浸蝕液 | 銅-H2O2-酸 |
有機剝離液 | MEA-BDG-水分-抗蝕劑 |
臭氧處理液 | HF-臭氧,H2SO4-臭氧 |