好處
- HPG400 可節(jié)省成本和工具空間,降低真空系統(tǒng)的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
- 高壓熱電離可以準(zhǔn)確可靠地測(cè)量 1 X 10-5 至 1 mbar 范圍內(nèi)的壓力,進(jìn)而改善過(guò)程控制
- 用戶可選的熱電離發(fā)射在 5 X 10-2 至 1 mbar 之間啟動(dòng)
- 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)絲極,防止過(guò)早燒毀
- 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場(chǎng)總線接口
- 高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié),減少操作員的干預(yù)
- 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
典型應(yīng)用
- 半導(dǎo)體制造、電子工業(yè)和媒體工業(yè)中的濺鍍應(yīng)用
- 工業(yè)鍍膜
- 低真空至高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制
規(guī)格
類型 | HPG400 | |
---|---|---|
測(cè)量范圍(空氣,N2) | 2×10-6 … 1000 | |
精度 | ||
10-5 … 1 毫巴 | % of reading | ±15 (1) |
可重復(fù)性 | ||
10-5 … 10-1 毫巴 | % of reading | 2 |
10-1 … 100 毫巴 | % of reading | 30 |
熱離子發(fā)射,可選: | ||
選購(gòu)件 1 | mbar | 1 |
選購(gòu)件 2 | mbar | 5×10-1 |
選購(gòu)件 3 | mbar | 2×10-1 |
選購(gòu)件 4 | mbar | 1×10-1 |
選購(gòu)件 5 | mbar | 5×10-2 |
壓力, | bar (absolute) | 2 |
溫度 | ||
運(yùn)行(環(huán)境) | °C | 0 … +50 |
貯存 | °C | -20 … +70 |
在法蘭處烘烤 | °C | 80 |
移除烘烤電子設(shè)備 | °C | 150 |
電源電壓 | 20 … 28 | |
輸出信號(hào)模擬 | ||
輸出信號(hào) | V | 0 … +10.2 |
測(cè)量范圍熱陰極 | V | 1.5 … 7.5 |
測(cè)量范圍皮拉尼 | V | 8.5 … 9.75 |
電壓比壓強(qiáng)熱陰極 | volts per decade | 1 |
電壓與壓強(qiáng)皮拉尼 | volts per decade | 0.25 |
錯(cuò)誤信號(hào)熱陰極 | V | 0.3 |
錯(cuò)誤信號(hào)皮拉尼 | V | 0.5 |
最小負(fù)載電阻 | k? | 10 |
接口(數(shù)字)(2) | RS232C | |
電氣連接 | D-Sub, 15-pin, male | |
電纜長(zhǎng)度, (3) | m (ft.) | 100 (330) |
暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
內(nèi)部容積 KF / CF | cm³ (in.³) | 20 (1.2) / 30 (1.8) |
重量 KF / CF | g | 430 / 695 |
保護(hù)等級(jí) | IP30 | |
DeviceNet™ | ||
協(xié)議 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
數(shù)據(jù)率開(kāi)關(guān) | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
電纜長(zhǎng)度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
電纜長(zhǎng)度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) |
電纜長(zhǎng)度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) |
MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
網(wǎng)絡(luò)規(guī)模 | up to 64 nodes per segment | |
數(shù)字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
模擬功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
可視通信指示器 | LED network status (green / red) ; LED module status (green / red) | |
技術(shù)規(guī)格 | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" | |
設(shè)備類型 | ''CG'' for combination gauge | |
I / O 從屬傳訊 | polling only | |
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 | 2 | |
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 范圍 | mbar | 2×10-6 … 100 |
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 繼電器觸點(diǎn) | n.o., potential free | |
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 滯后 | % of reading | 10 |
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 觸點(diǎn)額定值 | 60 | |
DeviceNet™ 電源電壓 | 11 … 25 | |
真空計(jì)電源電壓 | V (dc) | 20 … 28 |
DeviceNet™ 連接器 | Microstyle, 5-pin | |
HPG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn))連接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
Profibus DP | ||
波特率 | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 | |
地址 | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable | |
數(shù)字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
模擬功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 | 2 | |
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 范圍 | mbar | 2×10-6 … 100 |
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 繼電器觸點(diǎn) | n.o., potential free | |
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 滯后 | % of reading | 10 |
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 觸點(diǎn)額定值 | 60 | |
Profibus DP 連接器 | D-Sub, 9-pin, female | |
HPG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn))連接器 | D-Sub, 15-pin, male |
(1) 準(zhǔn)確度為 10-5 mbar 至激發(fā)所選熱電離輻射的值
(2)不可同時(shí)使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和現(xiàn)場(chǎng)總線
(3) 用于 <30m 的 RS232C 運(yùn)行
零件號(hào)
HPG400 | |
---|---|
零件號(hào) | 明細(xì) |
353-520 | 皮拉尼真空計(jì) |
354-486 | HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF |
353-521 | HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF |
353-522 | HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F |
353-523 | HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F |
353-525 | HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF |
353-526 | HPG400-SP PBus,DN 40 CF-F |
353-527 | HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF |
353-528 | HPG400-SD DNet DN 40 CF-F |
附件
HPG400 | |
---|---|
零件號(hào) | 明細(xì) |
211-113 | 中心圈 with baffle DN 25 KF |
353-511 | BPG400 24V電源 |
357-499 | Baffle HPG (10 pieces) |
備件
HPG400 | |
---|---|
零件號(hào) | 明細(xì) |
354-487 | HPG400 備用傳感器 |
354-488 | HPG400 Spare meas. system DN 40 CF-F |
數(shù)據(jù)表
手冊(cè)
手冊(cè)
三維步驟文件
其他文件