日立紫外清洗設(shè)備ZONESEMⅡ
日立紫外清洗設(shè)備是利用紫外光和臭氧對樣品表面污染物進(jìn)行清理的前處理設(shè)備,主要針對樣品表面的有機(jī)污染物,相比等離子清洗更加溫和,對樣品損傷小。
清洗系統(tǒng):
2種清洗模式
真空清洗和真空儲存
清洗時間范圍為1min-24h(步幅1min)
真空系統(tǒng):
無油真空系統(tǒng)(隔膜泵9L/min)
3min內(nèi)達(dá)到所需真空度
真空范圍為100-500torr(100步)
清洗倉:
樣品尺寸: 100mm (直徑) x 36mm (高)
適合于各型號掃描電鏡
有效清理區(qū)域達(dá)100 mm